[實用新型]硅片取放裝置

有效

• 申請號: 201720408464.5
• 申請日: 2017-04-18
• 公開（公告）號: CN206742265U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 侯玉;張春華;衡陽;陳佳男;李琰琪;鄭旭然;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/687
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 翟廣鳳

1.一種硅片取放裝置，其特征在于，包括通過轉軸鉸接的第一夾臂與第二夾臂；

所述第一夾臂的一端與所述第二夾臂的一端配合，以夾取硅片；

并且，所述第一夾臂的一端與所述第二夾臂的一端均設置有墊片。

2.根據權利要求1所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第一夾臂的內部中空。

3.根據權利要求2所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第一夾臂的另一端連接有抽氣設備。

4.根據權利要求3所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第一夾臂的一端設置有第一氣孔，所述第一氣孔與所述第一夾臂的內部連通；

所述墊片上設置有通氣孔，所述通氣孔與所述第一氣孔連通。

5.根據權利要求4所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第一夾臂的另一端與所述轉軸之間的外壁上設置有第二氣孔，所述第二氣孔與所述第一夾臂的內部連通。

6.根據權利要求1至5任一項所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第二夾臂與所述第一夾臂結構相同。

7.根據權利要求5所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第一夾臂與所述第二夾臂均包括依次連接的夾取段、連接段及握持段，且所述夾取段與所述握持段相互平行；

所述墊片設置在所述夾取段上；

所述第一夾臂的連接段的中部與所述第二夾臂的連接段的中部通過所述轉軸鉸接。

8.根據權利要求7所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第二氣孔設置在所述握持段上，且靠近所述連接段。

9.根據權利要求1所述的硅片取放裝置，其特征在于，還包括設置在所述第一夾臂與所述第二夾臂之間的第三夾臂；

所述第三夾臂的一端固定在所述轉軸上，所述第三夾臂的另一端設置有墊片。

10.根據權利要求9所述的硅片取放裝置，其特征在于，所述第三夾臂的內部中空。