[實用新型]一種PECVD爐管清理輔助裝置有效

申請號：	201720406516.5	申請日：	2017-04-18
公開（公告）號：	CN206676857U	公開（公告）日：	2017-11-28
發明（設計）人：	曹增輝	申請（專利權）人：	潤峰電力有限公司
主分類號：	B08B9/032	分類號：	B08B9/032;B08B9/043
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	272000 山東省***	國省代碼：	山東;37
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 pecvd 爐管清理輔助裝置
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【權利要求書】：

1.一種PECVD爐管清理輔助裝置，包括PEVCD爐，所述PEVCD爐內設置有槳桿，其特征在于所述槳桿上有石英連接桿，所述石英連接桿為中空管，所述中空管底部安裝有中空盤，所述中空盤與中空管連通，所述中空盤頂面上設置有吹氣孔，所述吹氣孔與中空盤中軸線呈斜角向外傾斜，所述中空盤上方的石英連接桿尾部設置有通氣管，所述通氣管的另一端與氣源連通。

2.根據權利要求1所述的一種PECVD爐管清理輔助裝置，其特征在于所述吹氣孔與中空盤中軸線的傾斜角度為45度。

3.根據權利要求1或2所述的一種PECVD爐管清理輔助裝置，其特征在于所述吹氣孔的數量為六個，規則排列在中空盤頂面上。

4.根據權利要求1所述的一種PECVD爐管清理輔助裝置，其特征在于所述石英連接桿的頂端安裝有插頭，與之對應的，所述槳桿上安裝有插銷頭。

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