[實用新型]一種芯片批量定位系統有效
| 申請號: | 201720400755.X | 申請日: | 2017-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN206697463U | 公開(公告)日: | 2017-12-01 |
| 發明(設計)人: | 王志敏;黃麗鳳 | 申請(專利權)人: | 如皋市大昌電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L21/683 |
| 代理公司: | 南京天翼專利代理有限責任公司32112 | 代理人: | 于忠洲 |
| 地址: | 226578 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 批量 定位 系統 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種芯片定位系統,尤其是一種芯片批量定位系統。
背景技術
目前,在進行微小芯片制造過程中,需要批量地對各個小芯片進行定位,從而便于芯片的批量焊接;但是現有的定位均是依靠人工逐個放置,導致工作效率低下,難以滿足批量生產的需要。
發明內容
本實用新型要解決的技術問題是現有的人工放置芯片效率低下,難以滿足批量生產的需要。
為了解決上述技術問題,本實用新型提供了一種芯片批量定位系統,包括吸板裝置、吸筆裝置以及氣源系統;吸板裝置包括吸板底座、矩形框以及底座氣閥;矩形框安裝在吸板底座上部;在吸板底座下部設有支撐柱,在支撐柱下端設有滾珠;在吸板底座上部且位于矩形框內陣列式設有芯片槽;在芯片槽的槽底部設有芯片氣孔;在吸板底座內部設有與各個芯片氣孔相連通的底座氣腔;在吸板底座上部的左右側邊緣設有定位柱;底座氣閥安裝在吸板底座的側面,并與底座氣腔相連通;吸筆裝置包括條形板和吸筆氣閥;在條形板的上部設有凸臺;在凸臺上陣列式設有與芯片槽相對應的定位凸塊,并在定位凸塊上設有吸筆氣孔;在條形板內部設有與各個吸筆氣孔相連通的吸筆氣腔;在條形板左右兩側的寬度邊緣上均設有側耳板;在側耳板上設有與定位柱相對應的定位孔;吸筆氣閥安裝在條形板的側面,并與吸筆氣腔相連通;氣源系統包括真空泵以及與真空泵相連的兩根氣管;兩根氣管的端部分別與底座氣閥和吸筆氣閥相連。
采用吸板裝置上陣列式設置的芯片槽從而便于批量定位芯片,同時通過底部的支撐柱和滾珠的設計,方便晃動使得芯片快速陷于凹槽中;采用底座氣閥能夠通過芯片氣孔將陷于芯片槽中的芯片牢牢吸附在芯片槽內,防止晃動過程中芯片從芯片槽脫落;采用吸筆裝置能夠將吸板裝置定位后的芯片分批次轉運至焊接位置,實現批量焊接;采用吸筆氣閥能夠批量控制芯片的吸附和釋放,有效提高工作效率;采用定位孔和定位柱的配合能夠確保吸板裝置和吸筆裝置的精確定位,使得定位凸塊與芯片槽精確對位。
作為本實用新型的進一步限定方案,底座氣閥包括氣閥壓帽、氣閥筒體、連接管、氣閥壓簧以及活塞桿;氣閥筒體的管口與底座氣腔相連通;氣閥壓帽固定安裝在活塞桿的一端上;氣閥壓簧套設在活塞桿上;活塞桿的另一端貫穿氣閥筒體的筒底部,并在該端部上設有活塞柱體;在活塞柱體的圓周面上環繞設置有與氣閥筒體的內腔壁相貼緊的密封橡膠圈;在氣閥筒體的內腔壁上設有由中段向管口處延伸的通氣槽,且通氣槽的槽寬在延伸方向上逐漸變寬;連接管對接安裝在氣閥筒體未設置通氣槽的位置處;連接管與氣源系統的氣管相連。采用活塞柱體和密封橡膠圈的設計構成活塞機構,并與通氣槽構成按下氣閥壓帽后通氣的結構,從而在芯片定位時按下氣閥壓帽,在定位完成后松開氣閥壓帽,釋放吸附力,再通過吸筆裝置吸附陣列排列的芯片,從而只要一個操作員便可完成該操作過程;將通氣槽的槽寬在延伸方向上設置為逐漸變寬從而隨著按壓力的大小改變抽真空的力度;采用氣閥壓簧能夠使得按壓力釋放后活塞機構順利回彈。
作為本實用新型的進一步限定方案,吸筆氣閥包括氣閥管體、氣閥按帽、回彈壓簧以及密封球;在氣閥管體內設有擋片和橡膠密封柱;在橡膠密封柱上設有半球形凹陷;橡膠密封柱固定在擋片上,且在擋片和橡膠密封柱上設有連通半球形凹陷的通氣孔;在氣閥按帽上設有連桿;回彈壓簧套設在連桿上;連桿的端部穿過氣閥管體的管壁插入氣閥管體內,并在該端部上設有三角塊;密封球位于氣閥管體內,且介于半球形凹陷與三角塊的斜坡面之間;氣閥管體的一端與吸筆氣腔相連通,另一端與氣源系統的氣管相連。采用橡膠密封柱、密封球以及三角塊構成一個按下氣閥按帽后斷氣的結構,從而在吸板裝置與吸筆裝置定位完成后,松開氣閥按帽,使得芯片槽上的芯片批量吸附到定位凸塊上,實現芯片的批量轉運;采用半球形凹陷能夠與密封球相配合,實現通氣孔的通斷控制;采用回彈壓簧能夠使得按壓力釋放后氣閥按帽順利回彈;采用吸筆氣閥和底座氣閥相反的控制方式,即一個是按下通氣,一個是按下斷氣的結構,使得一個操作員便可以完成吸板裝置和吸筆裝置的協調控制。
作為本實用新型的進一步限定方案,在連桿插入氣閥管體內的端部上設有防脫凸圈。采用防脫凸圈能夠防止連桿脫落。
作為本實用新型的進一步限定方案,通氣孔在橡膠密封柱上的出口方向與三角塊的斜坡面相垂直。該設計能夠確保密封球在三角塊的推動作用下完全封堵通氣孔,且作用力的分力較小。
作為本實用新型的進一步限定方案,在吸板底座的側面且靠近底座氣閥處設有把手。采用把手能夠方便使用吸板裝置,便于晃動使得芯片定位。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





