[實(shí)用新型]一種用于礦物相自動(dòng)識(shí)別分析的樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720400388.3
• 申請(qǐng)日: 2017-04-17
• 公開（公告）號(hào): CN206672891U
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李娟;何同;陸現(xiàn)彩;陸建軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京大學(xué)
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所32237
• 代理人: 賀翔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及地質(zhì)樣品的掃描電鏡儀器分析測(cè)試領(lǐng)域，具體是一種適用于礦物相自動(dòng)識(shí)別（INCA-mineral）分析使用的特制樣品臺(tái)。

背景技術(shù)

（1）自動(dòng)礦物相識(shí)別技術(shù)（INCA-mineral）：

INCA-mineral是目前世界上最先進(jìn)的礦物相自動(dòng)識(shí)別分析測(cè)試系統(tǒng)之一。該礦物分析軟件搭載在掃描電鏡（SEM）上，通過能譜探頭、背散射探頭協(xié)作工作來完成測(cè)試分析。工作原理是依據(jù)背散射圖像區(qū)分不同的礦物相，通過能譜分析獲取各相的元素，再通過圖形學(xué)處理采集到的全礦物特征。元素含量的變化，是鑒定礦物種類的主要依據(jù)。INCA-mineral技術(shù)在大面積SDD能譜探頭的支持下，可以快速準(zhǔn)確地采集每一個(gè)顆粒的形貌和成分信息，進(jìn)行礦物分類和鑒別，實(shí)現(xiàn)每小時(shí)數(shù)千個(gè)礦物顆粒的自動(dòng)分析，使得常規(guī)的SEM轉(zhuǎn)變?yōu)樽詣?dòng)礦物分析設(shè)備。

（2）INCA-mineral實(shí)驗(yàn)及樣品制備

進(jìn)行INCA-mineral分析測(cè)試時(shí)，要求試樣表面平整，與入射電子束垂直，呈90℃夾角，且樣品顆粒均勻分散。因此，對(duì)于塊狀樣品，首先要將待測(cè)面磨平并拋光。粉末樣品則需要將粉末狀礦物顆粒置入橡膠模具，注膠并制靶。待樹脂固化后，置入自動(dòng)金相拋光機(jī)碾磨拋光。待測(cè)樣品表面在進(jìn)行分析前，均需要噴鍍連續(xù)的導(dǎo)電碳膜，隨后裝入掃描電鏡樣品室進(jìn)行分析，軟件測(cè)試時(shí)需要利用Co作為能譜定量分析標(biāo)準(zhǔn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供了一種專門針對(duì)地學(xué)類的塊狀樣品、靶材樣品（粉末狀礦物顆粒）特制的一種用于INCA-mineral分析的特制樣品臺(tái)，用以滿足尺寸、形狀不一的樣品進(jìn)行有標(biāo)樣的測(cè)試需求。

本實(shí)用新型提供了一種用于礦物相自動(dòng)識(shí)別分析的樣品臺(tái)，為純Cu材料制作，樣品臺(tái)底座形狀與掃描電鏡樣品室內(nèi)樣品槽的形狀匹配，樣品臺(tái)中間開有樣品托，樣品托為空心圓柱體，空心圓柱體內(nèi)部尺寸與標(biāo)準(zhǔn)一英寸靶尺寸相當(dāng)，高度可以滿足絕大多數(shù)靶材的厚度。

樣品托中安裝有可拆卸、可調(diào)節(jié)的卡槽，用以安裝塊狀巖石樣品?？ú壑邪惭b有兩組移動(dòng)擋板，兩組可移動(dòng)擋板用以安裝不同尺寸的塊狀巖石樣品。

卡槽底部通過調(diào)節(jié)螺絲與樣品托連接，卡槽側(cè)面設(shè)有至少兩組樣品固定螺絲，對(duì)樣品進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，以保證樣品上表面與樣品臺(tái)的上表面平行且在同一高度。

樣品臺(tái)側(cè)壁上表面鑲嵌有Co標(biāo)樣，Co標(biāo)樣的上表面與樣品臺(tái)上表面在同一水平面，進(jìn)而與樣品表面在同一高度上，以滿足樣品能夠在同一個(gè)工作距離（WD）下通過Co標(biāo)樣進(jìn)行校準(zhǔn)。

本實(shí)用新型有益效果在于：提供了一種專門針對(duì)地學(xué)類的塊狀樣品、靶材樣品（粉末狀礦物顆粒）特制的一種用于INCA-mineral分析的特制樣品臺(tái)，用以滿足尺寸、形狀不一的樣品進(jìn)行有標(biāo)樣的測(cè)試需求。

附圖說明

圖1為樣品臺(tái)俯視圖。

圖2為卡槽結(jié)構(gòu)俯視圖。

圖3為樣品臺(tái)底座示意圖。

圖4為樣品臺(tái)側(cè)視圖。

圖5為樣品臺(tái)主視圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型提供了一種用于礦物相自動(dòng)識(shí)別分析的樣品臺(tái)，為純Cu材料制作，樣品臺(tái)底座如圖3所示，形狀與掃描電鏡樣品室內(nèi)樣品槽的形狀匹配，樣品臺(tái)中間開有高度可調(diào)節(jié)的樣品托，樣品托為空心圓柱體，如圖4和圖5所示，空心圓柱體內(nèi)部尺寸與標(biāo)準(zhǔn)一英寸靶尺寸相當(dāng)，高度可以滿足絕大多數(shù)靶材的厚度。

樣品托中安裝有可拆卸、可調(diào)節(jié)的卡槽，如圖2所示，用以安裝塊狀巖石樣品。卡槽中安裝有兩組移動(dòng)擋板，兩組可移動(dòng)擋板用以安裝不同尺寸的塊狀巖石樣品。

卡槽底部通過調(diào)節(jié)螺絲與樣品托連接，卡槽側(cè)面設(shè)有至少兩組樣品固定螺絲，對(duì)樣品進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，以保證樣品上表面與樣品臺(tái)的上表面平行且在同一高度。

樣品臺(tái)側(cè)壁上表面鑲嵌有Co標(biāo)樣，如圖1所示，Co標(biāo)樣的上表面與樣品臺(tái)上表面在同一水平面，進(jìn)而與樣品表面在同一高度上，以滿足樣品能夠在同一個(gè)工作距離（WD）下通過Co標(biāo)樣進(jìn)行校準(zhǔn)。

本實(shí)用新型具體應(yīng)用途徑很多，以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)，這些改進(jìn)也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。