[實用新型]一種無飛線MEMS密度傳感器

有效

• 申請號: 201720384612.4
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN206990390U
• 公開（公告）日: 2018-02-09
• 發明（設計）人: 楊廣;李鈺;王聰
• 申請（專利權）人: 楊廣;李鈺;王聰
• 主分類號: G01N9/00
• 分類號: G01N9/00;B81B7/00;B81B7/02
• 代理公司: 北京高航知識產權代理有限公司11530
• 代理人: 陳敏

技術領域

本實用新型涉及傳感器領域，更具體地說，涉及一種無飛線MEMS密度傳感器。

背景技術

密度傳感器可以用來測量物品尤其是液體的密度，MEMS密度傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器，與傳統的密度傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。

現有的類似專利：中國專利申請，申請號為：201210126237.5，授權公告日：2012.08.15，發明創造名稱為：一種復合式MEMS密度傳感器，該申請公開了一種復合式MEMS密度傳感器，該專利的目的是傳感器的懸臂梁芯片和驅動芯片通過硅硅鍵合技術封接在一起，可以有效減小傳感器的封裝尺寸；驅動磁場由圓形螺旋線圈通入恒定電流產生，通過改變恒定電流的大小可以快速有效地改變驅動磁場的磁感應強度，缺點是驅動芯片的制備工藝流程中采用了飛線設計，飛線是指排線由于經常受到按壓，導致折疊部位斷裂而接觸不良，在斷裂的兩端用細的漆包線用烙鐵焊接，飛線在MEMS密度傳感器中的使用中易斷裂而且不適用于高頻線路。

實用新型內容

1．要解決的技術問題

針對現有技術中存在現有的MEMS密度傳感器的驅動芯片部分使用飛線后易影響傳感器工作的問題，本實用新型的目的在于提供一種無飛線MEMS密度傳感器，它可以實現MEMS密度傳感器的驅動芯片部分無飛線，且不會影響MEMS密度傳感器的工作。

2．技術方案

為解決上述問題，本實用新型采用如下的技術方案。

一種無飛線MEMS密度傳感器，包括MEMS密度傳感器本體，所述MEMS密度傳感器本體包括懸臂梁芯片和驅動芯片，所述驅動芯片上設有第一連接片和第二連接片，所述驅動芯片上設有固定槽，所述第一連接片和第二連接片分別位于固定槽的槽口處兩側，所述固定槽內設有金條，所述金條的兩端均固定連接有金片，兩個所述金片分別位于第一連接片和第二連接片的下端，且兩個金片的上端分別與第一連接片和第二連接片固定連接，所述固定槽內固定連接有氮化硅層，所述金條位于氮化硅層內，兩個所述金片相對的一端部與氮化硅層固定連接，通過在驅動芯片上設固定槽，使用氮化硅層將金條和金片固定在固定槽內，替換現有技術中使用的飛線，金條和金片不易斷裂，而且適用于高頻線路，不會影響到傳感器的工作。

優選地，所述金片和金條的表面涂有絕緣層，絕緣層使金片和金條的表面絕緣性好，不會影響其他零件工作。

優選地，所述固定槽的內壁打磨光滑，光滑的內壁使固定槽與氮化硅層之間貼合更緊密，不易脫落。

3．有益效果

相比于現有技術，本實用新型的優點在于：

（1）本方案通過在驅動芯片上設固定槽，使用氮化硅層將金條和金片固定在固定槽內，替代現有技術中使用的飛線，金條和金片不易斷裂，而且適用于高頻線路，不會影響到傳感器的工作。

（2）金片和金條的表面涂有絕緣層，絕緣層使金片和金條的表面絕緣性好，不會影響其他零件工作。

（3）固定槽的內壁打磨光滑，光滑的內壁使固定槽與氮化硅層之間貼合更緊密，不易脫落。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為現有技術傳感器的正視圖。

圖中標號說明：

1懸臂梁芯片、2驅動芯片、3固定槽、4金條、5氮化硅層、6第一連接片、7第二連接片、8金片。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖；對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述；顯然；所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例；而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例；本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例；都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例1：