[實用新型]一種紫外激光連續變倍擴束鏡有效
| 申請號： | 201720383870.0 | 申請日： | 2017-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN206696536U | 公開（公告）日： | 2017-12-01 |
| 發明（設計）人： | 莊懷港;譚羽 | 申請（專利權）人： | 上海儀萬光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/09 | 分類號： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 上海科盛知識產權代理有限公司31225 | 代理人： | 褚明偉 |
| 地址： | 200072 上海市閘北*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 紫外 激光 連續 變倍擴束鏡 | ||
1.一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，從激光入射方向開始，包括第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡，其中所述的第一透鏡為凹面朝向出射端的彎月正透鏡，第二透鏡為雙凹的負透鏡，第三透鏡雙凹負透鏡，第四透鏡為雙凸正透鏡。
2.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡的焦距滿足：20mm＜f1＜60mm，-20mm＜f2＜-2mm，100mm＜f34＜220mm，其中，f1為第一透鏡的焦距，f2為第二透鏡的焦距，f34為第三透鏡和第四透鏡的合焦距。
3.根據權利要求2所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡的焦距滿足：f1＝41.2mm，f2＝-9.13mm，f34＝156.17mm，其中，f1為第一透鏡的焦距，f2為第二透鏡的焦距，f34為第三透鏡和第四透鏡的合焦距。
4.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，第一透鏡的兩個球面S1和S2，其曲率半徑分別為16.2mm和89.4mm，第一透鏡的中心厚度為2.4mm，材料為熔石英玻璃，其折射率為Nd＝1.46，阿貝數Vd為68；
第二透鏡的兩個球面S3和S4，其曲率半徑分別為-9mm和9mm，第二透鏡的中心厚度為2mm，材料為熔石英玻璃，其折射率為Nd＝1.46，阿貝數Vd為68；
第三透鏡的兩個球面S5和S6，其曲率半徑分別為-324.8mm和91mm，第三透鏡的中心厚度為4.2mm，材料為熔石英玻璃，其折射率為Nd＝1.46，阿貝數Vd為68；
第四透鏡的兩個球面S7和S8，其曲率半徑分別為178.65mm和-47.86mm，第四透鏡的中心厚度為6mm，材料為熔石英玻璃，其折射率為Nd＝1.46，阿貝數Vd為68。
5.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，第一透鏡與第二透鏡在光軸上的間距為d2，d2的范圍是：4mm＜d2＜28mm；第二透鏡與第三透鏡在光軸上的間距為d4，d4的范圍是：100＜d4＜140mm，第三透鏡與第四透鏡之間在光軸上的空氣間隙為3.5mm。
6.根據權利要求5所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，第一透鏡與第二透鏡在光軸上的間距為d2，d2的范圍是：5.4mm≤d2≤24.6mm，第二透鏡與第三透鏡在光軸上的間距為d4，d4的范圍是：112.3mm≤d4≤126.3mm，第三透鏡與第四透鏡之間在光軸上的空氣間隙為3.5mm。
7.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，所述的擴束鏡的入射光束波長為355nm。
8.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，所述的擴束鏡的倍率范圍為β＝2～10。
9.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，所述的擴束鏡在各倍率下的波像差<λ/10。
10.根據權利要求1所述的一種紫外激光連續變倍擴束鏡，其特征在于，所述的擴束鏡在不同倍率的入瞳直徑范圍為φ入＝2.2mm～6mm。
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