[實(shí)用新型]一種用于晶體硅太陽(yáng)能電池管式擴(kuò)散的石英舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720379151.1
• 申請(qǐng)日: 2017-04-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206976304U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王寶磊;羅飛;孫占峰;李小玄;張巖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安黃河光伏科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 西北工業(yè)大學(xué)專利中心61204
• 代理人: 華金

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體硅太陽(yáng)能電池領(lǐng)域硅片加工設(shè)備，具體涉及一種管式擴(kuò)散的載片裝置。

背景技術(shù)

晶硅太陽(yáng)能電池是以晶硅半導(dǎo)體為主要材料，其吸收太陽(yáng)光能后發(fā)生光電轉(zhuǎn)換，從而產(chǎn)生電流。太陽(yáng)光用之不盡、取之不竭，因此晶硅太陽(yáng)能電池是目前被廣泛使用的最為綠色環(huán)保的可再生能源，被許多國(guó)家列為重點(diǎn)發(fā)展項(xiàng)目。在中國(guó)，由于近些前來(lái)霧霾嚴(yán)重，以及隨著人們環(huán)保意識(shí)的不斷增強(qiáng)，太陽(yáng)能發(fā)電更是得到了政府的大力支持，因此，太陽(yáng)能電池行業(yè)涌入了大量的企業(yè)和人才，隨之競(jìng)爭(zhēng)也異常殘酷。所以提高晶硅太陽(yáng)電池的質(zhì)量就顯得格外重要。對(duì)于晶體硅太陽(yáng)能電池的擴(kuò)散，其工藝過(guò)程是先將硅片插入石英舟舟槽內(nèi)，再送進(jìn)一個(gè)高溫密閉的爐腔內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)散。但由于擴(kuò)散過(guò)程中，硅片與舟槽接觸的位置較難充分接觸反應(yīng)氣體，致使硅片與舟槽接觸的位置方阻異常，在檢查電池片的EL圖像時(shí)，硅片與舟槽接觸的位置顏色較暗，俗稱EL舟槽印，超過(guò)一定面積和數(shù)量，則降級(jí)，導(dǎo)致了晶硅太陽(yáng)能電池的EL合格品率降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題是：在對(duì)晶體硅太陽(yáng)能電池進(jìn)行EL檢測(cè)時(shí)，由于擴(kuò)散石英舟舟槽與硅片的位置會(huì)形成EL缺陷，其接觸面積和個(gè)數(shù)超過(guò)現(xiàn)有EL檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)對(duì)此缺點(diǎn)分析，提供了一種既可以降低與硅片接觸點(diǎn)數(shù)又可以減少與硅片接觸面積的石英舟。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種用于晶體硅太陽(yáng)能電池管式擴(kuò)散的石英舟，其特征在于，包括若干連接桿和若干承載桿，其中承載桿的數(shù)量大于等于三；晶體硅太陽(yáng)能電池插入至少三個(gè)承載桿的凹槽內(nèi)，且凹槽與晶體硅太陽(yáng)能電池接觸的位置不在晶體硅太陽(yáng)能電池同一側(cè)；承載桿兩端與連接桿固連。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述若干承載桿包括第一承載桿3、第二承載桿4和第三承載桿5；三個(gè)承載桿結(jié)構(gòu)相同，且軸線相互平行，三個(gè)承載桿同一側(cè)的桿端形成三角形結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述承載桿與晶體硅太陽(yáng)能電池未接觸的一端為半圓柱體，與晶體硅太陽(yáng)能電池接觸的一端為一凸條，凸條上并列開(kāi)有若干槽。

本發(fā)明的進(jìn)一步技術(shù)方案是：所述槽深為承載桿直徑的四分之一。

發(fā)明效果

本發(fā)明的技術(shù)效果在于：一、本實(shí)用新型的石英舟，由于其只有三個(gè)承載桿，將硅片放入石英舟內(nèi)后，石英舟與硅片接觸的位置只有三處，比常規(guī)石英舟少一處接觸點(diǎn)；其承載桿上的舟槽，經(jīng)重新設(shè)計(jì)，硅片與舟槽接觸的面積大幅減少，因此，本實(shí)用新型既降低了與硅片接觸點(diǎn)數(shù)又減少了與硅片接觸面積，使用本實(shí)用新型可大幅降低晶硅太陽(yáng)電池EL舟槽印不良比例。二、本實(shí)用新型的石英舟，既可以用于手動(dòng)插片，又可用于自動(dòng)化插片，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，可廣泛推廣。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖

圖2為本實(shí)用新型的俯視圖

圖3為本實(shí)用新型的側(cè)視圖

圖4為本實(shí)用新型的承載桿細(xì)節(jié)

圖5為本實(shí)用新型的工作狀態(tài)示意圖

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1-第一側(cè)壁；2-第二側(cè)壁；3-第一承載桿；4-第二承載桿；5- 第三承載桿；6-連接桿；A-承載桿細(xì)節(jié)。

具體實(shí)施方式