[實用新型]一種對位裝置及蒸鍍設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720376582.2 | 申請日: | 2017-04-11 |
| 公開(公告)號: | CN206616265U | 公開(公告)日: | 2017-11-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 鐘全;蔣國;封建林 | 申請(專利權(quán))人: | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11291 | 代理人: | 郭潤湘 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 對位 裝置 設(shè)備 | ||
1.一種對位裝置,用于玻璃基板的對位,其特征在于,所述對位裝置包括沿所述玻璃基板周向分布的至少四個對位機構(gòu)、以及設(shè)置于所述至少四個對位機構(gòu)頂部的冷卻板機構(gòu),其中:
每個對位機構(gòu)包括底座、能夠沿所述底座的延伸方向滑動地安裝于所述底座的滑塊;所述底座朝向玻璃基板的一端設(shè)置有用于支撐所述玻璃基板的支撐面;所述滑塊背離所述玻璃基板的一側(cè)表面與水平面形成的開口朝向所述玻璃基板的夾角為銳角;
所述冷卻板機構(gòu)包括冷卻板以及設(shè)置于所述冷卻板、且與所述滑塊一一對應(yīng)抵接的驅(qū)動組件,所述驅(qū)動組件用于驅(qū)動所述滑塊朝向所述玻璃基板滑動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對位裝置,其特征在于,沿所述底座的延伸方向,所述底座設(shè)置有滑軌,所述滑塊安裝于所述滑軌。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對位裝置,其特征在于,沿所述底座的延伸方向,所述底座的頂面設(shè)置有滑槽;所述滑塊底面設(shè)置有與所述滑槽配合的凸起。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對位裝置,其特征在于,沿所述底座的延伸方向,所述底座的頂面設(shè)置有至少一個滑桿,所述滑塊設(shè)置有與每個滑桿一一對應(yīng)的導(dǎo)向孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對位裝置,其特征在于,每個所述對位機構(gòu)還包括設(shè)置于所述底座和所述滑塊之間的彈性件,所述彈性件用于使所述滑塊朝向背離所述玻璃基板的方向移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對位裝置,其特征在于,所述彈性件為彈簧。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的對位裝置,其特征在于,所述驅(qū)動組件包括一端設(shè)置于所述冷卻板的驅(qū)動件、以及與相互對應(yīng)的滑塊滾動配合的滾輪,所述滾輪能夠繞其軸心線旋轉(zhuǎn)地安裝于所述驅(qū)動件的另一端。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對位裝置,其特征在于,所述驅(qū)動件能夠調(diào)節(jié)位置地設(shè)置于所述冷卻板朝向所述玻璃基板的一側(cè)表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對位裝置,其特征在于,所述對位裝置包括沿所述玻璃基板周向均勻分布的八個對位機構(gòu)。
10.一種蒸鍍設(shè)備,包括蒸鍍腔體,其特征在于,還包括如權(quán)利要求1-9任一項所述的對位裝置,所述對位裝置設(shè)置于所述蒸鍍腔體內(nèi)。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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