[實用新型]旋干機的桶槽結構

有效

• 申請號: 201720376158.8
• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN206803606U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 張振;錢宏亮;李曉明;呂曉飛;王豪
• 申請（專利權）人: 江蘇晶瑞半導體有限公司
• 主分類號: F26B5/08
• 分類號: F26B5/08;F26B21/14;F26B25/00
• 代理公司: 常州知融專利代理事務所(普通合伙)32302
• 代理人: 路接洲

技術領域

本實用新型涉及晶片加工技術領域，尤其是一種旋干機的桶槽結構。

背景技術

旋干機利用旋轉離心力的方式進行去離子水沖洗、熱氮氣烘干，去離子水電阻率監控、氮氣加溫、防靜電控制以及系統潔凈化處理來達到高潔凈度的片子清洗效果。設備由主機、相互獨立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮氣控制系統，以及PLC控制和操作系統組成。

世界第一臺旋轉沖洗甩干機1979年由美國SEMITOOL公司推出。SEMITOOL的STI-S系列機型代表了該類設備的最高水平,最大可適應12英寸規格工藝流片。近幾年國外該類設備朝著整合清洗功能，采納新技術，新工藝的方向發展。國內在該技術領域與國外相比差距十分明顯，主要是配套能力和加工工藝方面的問題。

國內現有的旋干機干燥時間長，反應槽受熱面積不均勻，氮氣加熱時會使晶片發生水痕現象，所以需要改進現有反應槽的結構。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現有技術中之不足，提供一種旋干機的桶槽結構。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種旋干機的桶槽結構，包括圓筒形反應槽，

所述反應槽的一端為開口，另一端連接有端板，所述端板中間開設有通孔，所述通孔上安裝有皮碗密封件，所述皮碗密封件的邊緣上連接有密封環，端板邊緣處連接有靜電消除器及氮氣閥；

所述反應槽的外側壁上通過螺栓固定有氮氣噴嘴組件，反應槽相對于所述氮氣噴嘴組件一側的外壁上連接有柔性加熱器墊，反應槽外壁上、柔性加熱器墊與氮氣噴嘴組件的中間通過螺栓連接有去離子水噴嘴組件。

柔性加熱器就是其基材均采用輕薄柔軟、易彎曲、形狀可配合各種設計和使用要求而定制的加熱器。產品具有良好的熱效率，確保經久可靠的使用壽命。柔性加熱器是以各類發熱膜為主導，這些發熱膜都具有節能，高熱轉換率，質地柔軟，使用壽命長的特點。

進一步地，所述靜電消除器安裝在靜電消除器座上，所述靜電消除器座通過螺栓安裝在端板邊緣處；所述氮氣閥安裝在氮氣閥座上，所述氮氣閥座通過螺栓安裝在端板邊緣處。

更進一步地，所述氮氣閥呈長方體結構，氮氣閥的一側面上連接有90°管接，其另一側面上通過直接頭連接有三通接頭，所述三通接頭的其余兩個接頭分別連接壓力開關和T型管接。

進一步地，所述氮氣噴嘴組件包括氮氣噴嘴座和氮氣噴嘴安裝座，所述氮氣噴嘴安裝座通過螺栓安裝在反應槽外側壁上。

進一步地，所述去離子水噴嘴組件包括去離子水噴嘴座和去離子水噴嘴安裝座，所述去離子水噴嘴安裝座通過螺栓安裝在反應槽外側壁上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型可以使用最短時間達到旋干晶片的目的，反應槽上采用柔性加熱器墊，大幅增加受熱面積與均勻度，氮氣由反應槽上方均勻釋放于反應槽中，可以避免晶片發生水痕現象。

附圖說明

下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的爆炸圖。

圖中：1.反應槽，2.端板，3.皮碗密封件，4.密封環，5.靜電消除器，6.氮氣閥，7.柔性加熱器墊，8.靜電消除器座，9.氮氣閥座，10.90°管接，11.直接頭，12.三通接頭，13.壓力開關，14.T型管接，15.氮氣噴嘴座，16.氮氣噴嘴安裝座，17.去離子水噴嘴座，18.去離子水噴嘴安裝座。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種旋干機的桶槽結構，包括圓筒形反應槽1，反應槽1的一端為開口，另一端連接有端板2，端板2中間開設有通孔，通孔上安裝有皮碗密封件3，皮碗密封件3的邊緣上連接有密封環4，端板2邊緣處連接有靜電消除器5及氮氣閥6；反應槽1的外側壁上通過螺栓固定有氮氣噴嘴組件，反應槽1相對于所述氮氣噴嘴組件一側的外壁上連接有柔性加熱器墊7，反應槽1外壁上、柔性加熱器墊7與氮氣噴嘴組件的中間通過螺栓連接有去離子水噴嘴組件。

其中，靜電消除器5安裝在靜電消除器座8上，靜電消除器5座通過螺栓安裝在端板2邊緣處；氮氣閥6安裝在氮氣閥座9上，氮氣閥座9通過螺栓安裝在端板2邊緣處。氮氣閥6呈長方體結構，氮氣閥6的一側面上連接有90°管接10，其另一側面上通過直接頭11連接有三通接頭12，三通接頭12的其余兩個接頭分別連接壓力開關13和T型管接14。