[實用新型]離軸拋物面反射鏡的離軸量和焦距測量裝置

有效

• 申請號: 201720371187.5
• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN206725192U
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 鮑振軍;朱衡;蔡紅梅;李智鋼;鄢定堯;馬平;劉杰;張賢紅;周衡
• 申請（專利權）人: 成都精密光學工程研究中心
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及光學元件檢測裝置，屬于光學技術領域。

背景技術

目前，大口徑離軸拋物面反射鏡在航天、天文、激光武器等領域得到廣泛的應用，此類非球面元件除了在光學參數上有較高的要求外，隨著系統精度的不斷提高對其離軸量、焦距等參數的要求也越來越高。目前國內相關報道表明，對離軸量和焦距的測量，大多數的科研和商業機構都采用簡易的方法，針對該兩個參數的測量，相關的專用精確測量裝置還比較少，制約離軸拋物面反射鏡鏡的整體加工質量。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供一種離軸拋物面反射鏡的離軸量和焦距測量裝置

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：離軸拋物面反射鏡的離軸量和焦距測量裝置，包括底座、轉盤，弧形導軌、調節螺栓和支架，轉盤置于底座的一端，弧形導軌固定于底座的另一端，其弧線與轉盤同圓心，調節螺栓經螺栓座與底座連接，支架兩端分別連接在轉盤和弧形導軌上，支架上設有互相平行的傳感器導軌、反射鏡導軌和光柵尺；傳感器導軌上設有二維調節架，傳感器導軌的轉盤一端設有限位塊，二維調節架上設有PSD(位置靈敏探測器)傳感器、激光測距儀和對焦反射鏡；反射鏡導軌上設有一維調節架，一維調節架上設有平面反射鏡。

本實用新型的有益效果是，在使用激光干涉儀進行離軸拋物面反射鏡零位檢測時，檢測時可以實現其離軸量和焦距的精確對準和測量。

附圖說明

圖1是本實用新型總體結構示意圖(前主視圖)；

圖2是本實用新型總體結構示意圖(后主視圖)；

圖3是本實用新型使用狀態示意圖；

圖4是圖3的局部放大示意圖。

圖中零部件及編號：

1—底座，2—轉盤，3—弧形導軌，4—調節螺栓，5—支架，6—一維調節架，7—平面反射鏡，8—傳感器導軌，9—反射鏡導軌，10—光柵尺，11—二維調節架，12—PSD傳感器，13—對焦反射鏡，14—激光測距儀，15—螺栓座，16—限位塊，17—平面標準鏡，18—平行光，19—被測鏡，20—干涉儀，21—球面光，22—三維調節架。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型進一步說明。

參見圖1—3，離軸拋物面反射鏡的離軸量和焦距測量裝置，包括底座1、轉盤2，弧形導軌3、調節螺栓4和支架5，轉盤2置于底座1的一端，弧形導軌3固定于底座1的另一端，其弧線與轉盤2同圓心，調節螺栓4經螺栓座15與底座1連接，支架5兩端分別連接在轉盤2和弧形導軌3上，支架5上設有互相平行的傳感器導軌8、反射鏡導軌9和光柵尺10；傳感器導軌8上設有二維調節架11，傳感器導軌8的轉盤2一端設有限位塊16，二維調節架11上設有PSD傳感器12、激光測距儀14和對焦反射鏡13；反射鏡導軌9上設有一維調節架6，一維調節架6上設有平面反射鏡7。

零位檢測法測量離軸拋物面的光路如圖3所示，干涉儀20發出的球面光16經過被測鏡19反射為平行光18經過平面標準鏡17垂直反射后原路返回形成干涉條紋實現檢測，三維調節架22可以X、Y、Z三個坐標方向直線調節，用于放置本實用新型裝置，球面光16的焦點到平行光18中心的垂直距離為離軸量，球面光16的焦點到被測鏡19的中心距離為焦距。

實現過程是：如圖2和圖3所示，支架5兩端分別連接在轉盤2和弧形導軌3上，旋轉調節螺栓4可以驅動支架5以轉盤2為中心轉動，即實現平面反射鏡7的左右偏擺。

一維調節架6安裝在反射鏡導軌9上并可沿其做直線移動。一維調節架6上安裝有平面反射鏡7，調節一維調節架6可以改變平面反射鏡7的俯仰。

二維調節架11安裝在傳感器導軌8上，二維調節架11上安裝有對焦反射鏡13、PSD傳感器12和激光測距儀14，對焦反射鏡13是一塊大于半圓的平面鏡，通過調節二維調節架11可以二維正交調整對焦反射鏡13，二維調節架11的角度可以手動大范圍旋轉調節，其旋轉中心為轉盤2的轉動中心。

如圖1所示，PSD傳感器12的感光表面與對焦反射鏡13的反射表面共面，兩者中心高度一致，中心間距離為L。激光測距儀14的測量激光光線中心軸與對焦反射鏡13反射面垂直，且其中心與PSD傳感器12的中心重合，二維調節架11移動到傳感器導軌8的左端被限位塊16限位時，PSD傳感器12的中心與轉盤2旋轉中心重合。

傳感器導軌8，反射鏡導軌9，光柵尺10三者平行，光柵尺10的光柵讀數頭與二維調節架11連接，與二維調節架11同步移動，用于測量二維調節架11在傳感器導軌8上的位置。