[實用新型]沖洗噴出裝置和濕法刻蝕設備

有效

• 申請號: 201720370844.4
• 申請日: 2017-04-10
• 公開（公告）號: CN206652764U
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 鄧治國;王振;魏悅;任志明;王成龍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B5/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種沖洗噴出裝置，其特征在于，包括：

內部中空的第一本體，所述第一本體上設有一個第一通槽；

外套于所述第一本體外的第二本體，所述第二本體上設有至少兩個可將所述第一本體的內部和所述第二本體的內部連通的第二通槽，所述第二本體可相對所述第一本體轉動以使所述第一通槽與一所述第二通槽連通；

與所述第一本體的內部連通、為所述第一本體的內部提供液體或氣體的供給管路。

2.根據權利要求1所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，還包括：外套于所述第二本體外的第三本體，所述第三本體設有與所述第一通槽朝向相同的第三通槽。

3.根據權利要求1所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，每個所述第二通槽大小不同。

4.根據權利要求3所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，所述第二通槽的個數為四個，且四個所述第二通槽的大小均不同。

5.根據權利要求1所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，所述第一通槽在所述第一本體靠近所述第二本體的一側的開口等于每個所述第二通槽在所述第二本體靠近所述第一本體的一側的開口。

6.根據權利要求1所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，所述第一通槽和每個所述第二通槽為三角形通槽或梯形通槽。

7.根據權利要求1所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，還包括：

驅動所述第二本體旋轉的驅動單元；

用于檢測所述第二通槽所受壓力的傳感器；

與所述傳感器和所述驅動單元信號連接的控制器，當所述傳感器檢測到的壓力值大于預先設定的壓力值時，控制所述驅動單元驅動所述第二本體旋轉以更換與所述第一通槽連通的第二通槽。

8.根據權利要求2～7任一項所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，所述第一本體、所述第二本體、所述第三本體同軸設置。

9.根據權利要求8所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，所述第一本體的端面和所述第二本體的端面均為圓形，所述第三本體的端面為圓弧形。

10.根據權利要求9所述的沖洗噴出裝置，其特征在于，所述第二本體的兩端均設有密封蓋，每個所述密封蓋上設有允許所述供給管路的一端伸入所述第一本體的內部的開口。

11.一種濕法刻蝕設備，其特征在于，包括如權利要求1～10任一項所述的沖洗噴出裝置。