[實用新型]高等級無塵布防二次污染清洗系統

有效

• 申請號: 201720370101.7
• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN206858859U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 范銀波
• 申請（專利權）人: 安徽高芯眾科半導體有限公司
• 主分類號: D06F29/00
• 分類號: D06F29/00
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙)32267
• 代理人: 馬廣旭

1.高等級無塵布防二次污染清洗系統，其特征在于，包括隔墻、清洗機、烘箱，所述隔墻一側為無塵側、另一側為非無塵側，所述清洗機和烘干機均安裝于非無塵側，清洗機在非無塵側開有入口門，在無塵側穿墻并開有出口門，所述烘箱在無塵側穿墻并開有烘箱門；

所述清洗機內具有相互獨立的靠近入口門一側的洗滌裝置和靠近出口門一側的甩干裝置。

2.根據權利要求1所述的高等級無塵布防二次污染清洗系統，其特征在于，所述入口門和烘箱門在隔墻的無塵側和非無塵側連接處均具有密封層，密封層的密封方式為液槽密封或膠泥密封。

3.根據權利要求1所述的高等級無塵布防二次污染清洗系統，其特征在于，所述洗滌裝置具有清洗液進口和清洗液出口，所述清洗液進口在所述洗滌裝置上部，所述清洗液出口在所述洗滌裝置下部。

4.根據權利要求1所述的高等級無塵布防二次污染清洗系統，其特征在于，所述清洗機在入口門一側還具有控制面板，控制面板連接外部控制器，控制器控制洗滌裝置和甩干裝置的運作和關閉。

5.根據權利要求1所述的高等級無塵布防二次污染清洗系統，其特征在于，所述清洗機的內側壁為研磨光滑的不銹鋼材質，清洗機的清洗潔凈等級為100級或10級。