[實(shí)用新型]一種輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720368826.2
• 申請日: 2017-04-10
• 公開（公告）號: CN206785866U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴桂秋
• 申請（專利權(quán)）人: 西安威而信精密儀器有限公司
• 主分類號: F16C29/02
• 分類號: F16C29/02;G01B21/20;G01B21/02;G01B21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：包括導(dǎo)軌和套設(shè)在導(dǎo)軌上的移動(dòng)組件；

所述導(dǎo)軌為方形條石，其上表面為上導(dǎo)向面、下表面為下導(dǎo)向面、兩側(cè)面分別為左導(dǎo)向面和右導(dǎo)向面；

所述移動(dòng)組件包括上板、下板、左板和右板，上板朝向?qū)к壍谋砻鏋樯瞎ぷ髅妫掳宄驅(qū)к壍谋砻鏋橄鹿ぷ髅妫蟀宄驅(qū)к壍钠矫鏋樽蠊ぷ髅妫野宄驅(qū)к壍钠矫鏋橛夜ぷ髅妫?/p>

移動(dòng)組件上設(shè)有供帶壓氣體進(jìn)入的進(jìn)氣口，移動(dòng)組件內(nèi)設(shè)有若干平行的通氣槽，進(jìn)氣口分別與通氣槽相連通；

所述通氣槽上設(shè)有若干節(jié)流器，節(jié)流器上開有節(jié)流孔，節(jié)流孔連通通氣槽與上工作面、下工作面、左工作面和右工作面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：所述通氣槽為與移動(dòng)組件的截面相似的的環(huán)形槽結(jié)構(gòu)，包括成一周設(shè)置的上通氣槽、下通氣槽、左通氣槽和右通氣槽；

上通氣槽設(shè)置在上板中，上通氣槽上設(shè)有與上工作面相連通的節(jié)流器；

左通氣槽設(shè)置在左板中，左通氣槽上設(shè)有與左工作面相連通的節(jié)流器；

右通氣槽設(shè)置在右板中，右通氣槽上設(shè)有與右工作面相連通的節(jié)流器；

下通氣槽設(shè)置在下板中，下通氣槽上設(shè)有與下工作面相連通的節(jié)流器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：上通氣槽上的節(jié)流器的軸線與上工作面相垂直，左通氣槽上的節(jié)流器的軸線與左工作面相垂直，右通氣槽上的節(jié)流器的軸線與右工作面相垂直，下通氣槽上的節(jié)流器的軸線與下工作面相垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：所述節(jié)流器為小孔節(jié)流器、環(huán)面節(jié)流器或多孔質(zhì)節(jié)流器中的一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：所述節(jié)流器朝向通氣槽的一端設(shè)有節(jié)流淺腔，所述節(jié)流淺腔的截面包含節(jié)流器的截面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：還包括設(shè)置在進(jìn)氣口的氣嘴。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：所述上板與左板、上板與右板、下板與左板、下板與右板之間氣密封。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪廓儀氣浮直線導(dǎo)軌，其特征在于：所述導(dǎo)軌的材質(zhì)為大理石。