[實用新型]芯片自動檢測裝置

有效

• 申請號: 201720366659.8
• 申請日: 2017-04-05
• 公開（公告）號: CN207007778U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發明（設計）人: 楊杰
• 申請（專利權）人: 天水師范學院
• 主分類號: G01N29/04
• 分類號: G01N29/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及集成電路芯片生產加工檢測技術領域，具體涉及一種芯片自動檢測裝置。

背景技術

集成電路芯片成品生產后，要對芯片進行檢測，檢測內容包括物理缺陷檢測、磁感應檢測等等，檢測后的合格芯片要進行封裝，不合格芯片要進行回收。現有的操作流程中，這一系列動作均通過人工完成，個別工步通過自動化操作實現，但總體來說，人工干預大，效率低，給芯片造成的污染大。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供了一種芯片自動檢測裝置，通過超聲波傳感器對芯片的物理缺陷進行檢測，在檢測的過程中實現了芯片與檢測柱相對位置的調整，從而實現了芯片物理缺陷的全面檢測，使用方便。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

芯片自動檢測裝置，包括基板、脈沖發生接收器、超聲波傳感器和示波器，所述基板下底面安裝有第一滑軌、第二滑軌和第三滑軌，所述第二滑軌和第三滑軌對稱安裝在第一滑軌兩側，且分別與第一滑軌垂直設置，所述第一滑軌內通過第一滑塊安裝有一檢測柱，所述檢測柱內安裝有一脈沖發生接收器，示波器通過脈沖發生接收器連接有超聲波傳感器，超聲波傳感器安裝在所述檢測柱的下頂面中心處，所述檢測柱兩側對稱安裝有兩弧形定位爪，兩弧形定位爪下端的內側面固定安裝有兩夾持機械手，一側的弧形定位爪通過第二滑塊與第二滑軌滑接，另一側的弧形定位爪通過第二滑塊與第三滑軌滑接。

作為優選，所述第二滑塊分別與第二滑軌、第三滑軌滑接。

作為優選，所述檢測柱上頂面通過螺栓與第一滑塊的下底面固定連接。

作為優選，所述弧形定位爪上頂面通過螺栓與第二滑塊固定連接。

作為優選，所述第一滑塊和第二滑塊均為帶伺服裝置的滑塊。

作為優選，還包括一控制器，控制器與夾持機械手、第一滑塊和第二滑塊、脈沖發生接收器、超聲波傳感器和示波器電連接。

本實用新型具有以下有益效果：

通過超聲波傳感器對芯片的物理缺陷進行檢測，在檢測的過程中實現了芯片與檢測柱相對位置的調整，從而實現了芯片物理缺陷的全面檢測，使用方便。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型中基板、第一滑軌、第二滑軌、第一滑塊、第二滑塊的連接結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的及優點更加清楚明白，以下結合實施例對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖1-圖2所示，本實用新型實施例提供了一種芯片自動檢測裝置，包括基板1、脈沖發生接收器10、超聲波傳感器9和示波器，所述基板1下底面安裝有第一滑軌4、第二滑軌 5和第三滑軌6，所述第二滑軌5和第三滑軌6對稱安裝在第一滑軌4兩側，且分別與第一滑軌4垂直設置，所述第一滑軌4內通過第一滑塊8安裝有一檢測柱2，所述檢測柱2內安裝有一脈沖發生接收器10，示波器通過脈沖發生接收器10連接有超聲波傳感器9，超聲波傳感器9安裝在所述檢測柱2的下頂面中心處，所述檢測柱2兩側對稱安裝有兩弧形定位爪3，兩弧形定位爪3下端的內側面固定安裝有兩夾持機械手11，一側的弧形定位爪3通過第二滑塊7與第二滑軌5滑接，另一側的弧形定位爪3通過第二滑塊7與第三滑軌6滑接。

所述第二滑塊7分別與第二滑軌5、第三滑軌6滑接。

所述檢測柱2上頂面通過螺栓與第一滑塊8的下底面固定連接。

所述弧形定位爪3上頂面通過螺栓與第二滑塊7固定連接。

所述第一滑塊8和第二滑塊7均為帶伺服裝置的滑塊。

還包括一控制器，控制器與夾持機械手11、第一滑塊8和第二滑塊7、脈沖發生接收器 10、超聲波傳感器9和示波器電連接。

本具體實施通過控制器控制夾持機械手11進行待檢測芯片的夾持，然后啟動脈沖發生接收器10、超聲波傳感器9和示波器對芯片進行檢測，在檢測的過程中可以通過第一滑塊帶動檢測柱移動，通過第二滑塊帶動弧形定位爪3移動，從而實現芯片與超聲筆傳感器9相對位置的移動，從而實現了芯片物理缺陷的全面檢測。

本申請所涉及的電路連接均為現有技術中的常規連接方式，所涉及的元件型號均為現有技術中的常規型號，連接結構未作說明的均采用現有技術中成熟的螺栓、鉚釘、焊接、粘貼等常規手段連接，在此不再詳述。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。