[實用新型]一種制備電子級三氯氫硅的裝置有效
| 申請號： | 201720362913.7 | 申請日： | 2017-04-06 |
| 公開（公告）號： | CN206624652U | 公開（公告）日： | 2017-11-10 |
| 發明（設計）人： | 劉見華;趙雄;萬燁;姜麗霞;郭樹虎;楊永亮;嚴大洲;杜俊平;張升學 | 申請（專利權）人： | 洛陽中硅高科技有限公司;中國恩菲工程技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107;B01J19/18 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司11240 | 代理人： | 趙囡囡,金田蘊 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 電子 級三氯氫硅 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備電子級三氯氫硅的裝置，其特征在于，包括：
反應器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物與原料三氯氫硅進行反應；
提純塔，用于將所述反應器中的反應產物先脫除部分重組分、再脫除輕組分和剩余的重組分得到提純產品；以及
吸附提純單元，用于將所述提純產品進一步去除雜質，得到電子級三氯氫硅。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述提純塔包括與所述反應器依次連通的第一脫重塔、脫輕塔和第二脫重塔，其中，所述脫輕塔和所述第二脫重塔采用差壓熱耦合。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述提純塔為填料塔或篩板塔。
4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述提純塔的內壁表面粗糙度為0.1～0.5μm，閥門為隔膜閥。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述反應器為具有控溫、控壓和攪拌功能的反應器。
6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述吸附提純單元包括1臺或多臺吸附柱。
7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述吸附柱的高徑比在2～9之間，所述吸附柱的內壁表面粗糙度為0.1～0.5μm。
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