[實用新型]一種提拉法制備藍寶石晶體的裝置

有效

• 申請號: 201720361295.4
• 申請日: 2017-04-08
• 公開（公告）號: CN206616289U
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 郝貴榮
• 申請（專利權）人: 山西中聚晶科半導體有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B15/10;C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于晶體生長設備領域，具體涉及一種提拉法制備藍寶石晶體的裝置。

背景技術

藍寶石俗稱剛玉，具有優良的機械、光學、化學、電學特性，并且能夠耐高溫，抗輻射被廣泛用于耐磨器件、光學窗口、襯底材料、導彈整流罩等領域。目前，藍寶石生長的工藝中，提拉法是比較好的方法之一。在提拉法生長過程中，生長爐內的熱場分布，對生長出的晶體質量至關重要。生長爐內軸向和徑向溫度梯度過大或過小都會使晶體產生缺陷。藍寶石晶體生長過程中，如果溫度梯度過大，晶體中就會殘余相當大的熱應力，熱應力過大就會使晶體碎裂；如果溫度梯度過小時，晶體生長動力不夠，晶體不能完全生長。現有技術中工裝外壁由若干層實心保溫層組成，由于工裝的外徑大、尺寸厚，使得保溫層外的電磁線圈直徑較大，電磁線圈同坩堝距離較遠，造成電磁效率低，能耗大。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是如何提高提拉法制備藍寶石晶體的電磁效率。

具體的，采用的技術方案為：

一種提拉法制備藍寶石晶體的裝置，包括爐體，在爐體內部設置有坩堝，在坩堝四周包裹有石英圈，在石英圈外纏繞有電磁線圈，所述電磁線圈有外凸結構，所述外凸結構由相鄰的三圈線圈構成，所述三圈線圈中間的一個線圈的內直徑為D+0.75d，其余兩個線圈的內直徑為D+0.5d，其中，D為外凸結構之外的其他線圈的內徑，d為纏繞電磁線圈的線纜的直徑；相鄰兩個外凸結構之間的線圈圈數為3-5圈，最上端外凸結構之上和最下端外凸結構之下的線圈圈數為2-3圈。

本實用新型具有如下有益效果：由于工裝的外徑大、尺寸厚，使得保溫層外的電磁線圈直徑較大，電磁線圈同坩堝距離較遠，造成電磁效率低，能耗大；本實用新型通過線圈直徑的規律性的微小改變，在主體線圈形成的渦流的基礎上，形成多個微小變量的渦流，兩種形式的渦流相互作用，有利于提高電磁線圈的加熱效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中，1為爐體，2為坩堝，3為石英圈，4為電磁線圈。

具體實施方式

下面的實施例可以使本領域技術人員更全面地理解本實用新型，但不以任何方式限制本實用新型。

實施例1

如圖1所示，一種提拉法制備藍寶石晶體的裝置，包括爐體1，在爐體1內部設置有坩堝2，在坩堝2四周包裹有石英圈3，在石英圈3外纏繞有電磁線圈4，所述電磁線圈4有外凸結構，所述外凸結構由相鄰的三圈線圈構成，所述三圈線圈中間的一個線圈的內直徑為D+0.75d，其余兩個線圈的內直徑為D+0.5d，其中，D為外凸結構之外的其他線圈的內徑，d為纏繞電磁線圈4的線纜的直徑；相鄰兩個外凸結構之間的線圈圈數為3-5圈，最上端外凸結構之上和最下端外凸結構之下的線圈圈數為2-3圈。

本領域技術人員應理解，以上實施例僅是示例性實施例，在不背離本實用新型的精神和范圍的情況下，可以進行多種變化、替換以及改變。