[實用新型]一種硅片承載盒有效
| 申請號: | 201720358336.4 | 申請日: | 2017-04-07 |
| 公開(公告)號: | CN207116389U | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發明(設計)人: | 楊張峰;李書坤;王志寶;喬勇;謝賢清 | 申請(專利權)人: | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人: | 張海英,林波 |
| 地址: | 215129 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硅片 承載 | ||
1.一種硅片承載盒,其特征在于,包括底板(1)和兩個相鄰設置于所述底板(1)的兩個相鄰側邊的側壁(2),所述底板(1)的頂面和兩個所述側壁(2)圍成容置空間,所述容置空間用于堆放硅片;
兩個所述側壁(2)的交界處斷開形成缺口(22)。
2.如權利要求1所述的硅片承載盒,其特征在于,所述底板(1)的底面連接有轉動機構,所述轉動機構用于調整所述底板(1)的傾斜角度。
3.如權利要求2所述的硅片承載盒,其特征在于,所述轉動機構包括與所述底板(1)鉸接的支撐軸(31),所述支撐軸(31)外套設有固定部(32),所述固定部(32)能夠沿所述支撐軸(31)滑動,所述底板(1)相對所述支撐軸(31)轉動并傾斜后與所述固定部(32)固定。
4.如權利要求3所述的硅片承載盒,其特征在于,所述固定部(32)與所述底板(1)通過螺釘固定。
5.如權利要求3所述的硅片承載盒,其特征在于,所述支撐軸(31)的端部為球形,所述底板(1)與所述支撐軸(31)的端部鉸接,所述底板(1)相對所述支撐軸(31)的端部轉動并向兩個所述側壁(2)的夾角方向傾斜后與所述固定部(32)固定。
6.如權利要求1所述的硅片承載盒,其特征在于,所述底板(1)的底面與固定座(33)連接,所述固定座(33)的上端面為向兩個所述側壁(2)的夾角方向傾斜的斜面,所述底板(1)與所述上端面固定。
7.如權利要求1-6任一項所述的硅片承載盒,其特征在于,所述側壁(2)的內表面設置有緩沖帶(21),所述緩沖帶(21)沿垂直于所述底板(1)的方向設置。
8.如權利要求7所述的硅片承載盒,其特征在于,所述緩沖帶(21)由海綿或硅膠制成。
9.如權利要求7所述的硅片承載盒,其特征在于,所述緩沖帶(21)的數量為多個,多個所述緩沖帶(21)平行設置于所述側壁(2)的內表面。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





