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[實用新型]一種硅片承載盒有效

專利信息
申請號: 201720358336.4 申請日: 2017-04-07
公開(公告)號: CN207116389U 公開(公告)日: 2018-03-16
發明(設計)人: 楊張峰;李書坤;王志寶;喬勇;謝賢清 申請(專利權)人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
主分類號: H01L21/673 分類號: H01L21/673
代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332 代理人: 張海英,林波
地址: 215129 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 承載
【權利要求書】:

1.一種硅片承載盒,其特征在于,包括底板(1)和兩個相鄰設置于所述底板(1)的兩個相鄰側邊的側壁(2),所述底板(1)的頂面和兩個所述側壁(2)圍成容置空間,所述容置空間用于堆放硅片;

兩個所述側壁(2)的交界處斷開形成缺口(22)。

2.如權利要求1所述的硅片承載盒,其特征在于,所述底板(1)的底面連接有轉動機構,所述轉動機構用于調整所述底板(1)的傾斜角度。

3.如權利要求2所述的硅片承載盒,其特征在于,所述轉動機構包括與所述底板(1)鉸接的支撐軸(31),所述支撐軸(31)外套設有固定部(32),所述固定部(32)能夠沿所述支撐軸(31)滑動,所述底板(1)相對所述支撐軸(31)轉動并傾斜后與所述固定部(32)固定。

4.如權利要求3所述的硅片承載盒,其特征在于,所述固定部(32)與所述底板(1)通過螺釘固定。

5.如權利要求3所述的硅片承載盒,其特征在于,所述支撐軸(31)的端部為球形,所述底板(1)與所述支撐軸(31)的端部鉸接,所述底板(1)相對所述支撐軸(31)的端部轉動并向兩個所述側壁(2)的夾角方向傾斜后與所述固定部(32)固定。

6.如權利要求1所述的硅片承載盒,其特征在于,所述底板(1)的底面與固定座(33)連接,所述固定座(33)的上端面為向兩個所述側壁(2)的夾角方向傾斜的斜面,所述底板(1)與所述上端面固定。

7.如權利要求1-6任一項所述的硅片承載盒,其特征在于,所述側壁(2)的內表面設置有緩沖帶(21),所述緩沖帶(21)沿垂直于所述底板(1)的方向設置。

8.如權利要求7所述的硅片承載盒,其特征在于,所述緩沖帶(21)由海綿或硅膠制成。

9.如權利要求7所述的硅片承載盒,其特征在于,所述緩沖帶(21)的數量為多個,多個所述緩沖帶(21)平行設置于所述側壁(2)的內表面。

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