[實用新型]一種對準標定一體裝置

有效

• 申請號: 201720347448.X
• 申請日: 2017-04-05
• 公開（公告）號: CN206819052U
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發明（設計）人: 楊文;趙華
• 申請（專利權）人: 無錫影速半導體科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司23211
• 代理人: 張勇

技術領域

本實用新型涉及一種對準標定一體裝置，屬于直寫曝光機技術領域。

背景技術

現有的直寫曝光機工作時，需要進行對準和標定兩個步驟。

對準的目的是找到基板上的待曝光位置，并將該位置準確傳遞給DMD曝光組件，以確保曝光的精確度。在對準時，CCD相機抓取PCB板上的定位孔或其它定位標記，準確記錄該定位孔或定位標記的位置坐標，并傳遞給DMD曝光組件，完成對準。

標定的目的在于檢測和確定CCD相機和DMD曝光組件之間的相對位置以及不同DMD曝光組件之間的相對位置的準確性。在標定時，吸盤相機依次抓取CCD相機和DMD曝光組件的位置坐標，根據其位置坐標的差異來分析CCD相機和DMD曝光組件之間的相對位置以及不同DMD曝光組件之間的相對位置，檢測其準備性，必要時進行調整，完成標定。

對準和標定是直寫曝光機工作時的兩個重要的步驟，是保證加工精度的最重要的手段。但是現有技術中，對準和標定分別用到CCD相機和吸盤相機兩個相機，兩個相機是可以相互獨立運動的，其相對位置關系在運動過程中，由于機械運動組件的加工精度和運動準確性不能做到絕對精確，常常會導致CCD相機和吸盤相機之間的相對位置不準確，進而導致標定時不能準確確定CCD相機和DMD曝光組件之間的相對位置以及不同DMD曝光組件之間的相對位置，最終導致圖形曝光不準確，甚至產品報廢。

因此，需要開發一種新的技術，以解決現有技術中存在的問題。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種對準標定一體裝置，所述對準標定一體裝置包括CCD相機和光路組件；所述CCD相機水平設置，CCD相機鏡頭朝向水平方向；所述光路組件包括3組棱鏡組件，分別為左棱鏡組件、右棱鏡組件和中間棱鏡組件，所述每組棱鏡組件包括2個相對設置的三棱鏡，所述三棱鏡為橫截面為等腰直角三角形的三棱柱結構，每組棱鏡組件的2個三棱鏡的斜邊所在的面相對緊貼設置，兩面之間設置有半透半反膜；所述3組棱鏡組件呈直線排列，其中中間組棱鏡組件位于CCD相機鏡頭正前方，且其棱鏡的側棱沿豎直方向設置，中間棱鏡組件與CCD相機鏡頭相背的直角面上設置有全反射膜；左棱鏡組件和右棱鏡組件分別位于CCD相機鏡頭的前方左側和前方右側，棱鏡側棱方向與CCD相機鏡頭指向平行，左、右棱鏡組件與中間組件相背的直角面上分別設置有全反射膜。

在本實用新型的一種實施方式中，所述對準標定一體裝置還包括承載箱體，承載箱體形狀為T字型，所述CCD相機、左棱鏡組件、右棱鏡組件和中間棱鏡組件分別位于承載箱體內部，承載箱體上位于左棱鏡組件和右棱鏡組件的正上方和正下方的位置各開設有通光孔。

在本實用新型的一種實施方式中，所述通光孔處設置有透明蓋板，蓋板覆蓋整個通光孔

在本實用新型的一種實施方式中，所述承載箱體外部連接有運動組件，承載箱體可隨運動組件進行三維平移運動。

本實用新型的對準標定一體裝置在工作時：

當需要進行標定時，裝置可以直接看到上方的DMD陣列，并確定DMD陣列和裝置自身的位置關系，位置關系需要調整時，做出相應調整；裝置還可以對DMD陣列中各DMD鏡頭之間的位置關系進行標定，記錄每個DMD鏡頭的位置并與標準位置進行比較，必要時做出相應調整；裝置可通過左、右棱鏡組件同時看到上方兩處DMD鏡頭，大大提高標定效率。

當需要進行對準操作時，裝置可通過左、右棱鏡組件的兩路光路同時看到下方PCB板，并可根據裝置和PCB板上定位孔或定位標記之間的位置關系，機動地選擇合適的光路就近地移動捕捉定位孔或定位標記，不但提高了對準工作效率，而且由于縮減了對準裝置的移動距離，可有效提高設備的使用壽命。

本實用新型的優點和效果：

本實用新型提供的對準標定一體裝置：

1，通過對光路結構的設計，使現有技術中的用于標定的吸盤相機和用于對準的CCD相機整合成一體的對準標定裝置，不僅大大節省了成本，而且由于不存在吸盤相機和CCD相機之間的相對運動，可以完全避免由于吸盤相機和CCD相機之間的相對運動帶來的標定誤差，使標定更加精確。

2，裝置上部DMD陣列發出的光線和下部定位孔或定位標記發出的光線，經過棱鏡組件折射后都能進入CCD相機的鏡頭，CCD相機可以同時看到上部DMD陣列和下部定位孔或定位標記。