[實(shí)用新型]一種芯片加工清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720342928.7
• 申請(qǐng)日: 2017-04-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206774506U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卓廷厚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華天恒芯半導(dǎo)體（廈門）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種芯片加工清洗裝置。

背景技術(shù)

芯片清洗是每一個(gè)芯片制備過(guò)程中必不可少的過(guò)程，其目的在于使芯片表面的污染物盡可能地降低，使得元件獲得良好而穩(wěn)定的特性，以及使制程具有良好的再現(xiàn)性。而現(xiàn)存的芯片加工清洗設(shè)備往往只能對(duì)芯片進(jìn)行一次清洗，若清洗不成功還得需要重復(fù)清洗過(guò)程，增大了人們對(duì)清洗的任務(wù)。現(xiàn)設(shè)計(jì)一種可以檢測(cè)芯片污垢并自動(dòng)對(duì)芯片進(jìn)行二次清洗的裝置，減少人們的任務(wù)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種芯片加工清洗裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種芯片加工清洗裝置，包括物料槽和第一清洗池，所述物料槽包括出料槽和進(jìn)料槽，所述進(jìn)料槽設(shè)置在出料槽的下方，所述出料槽的一側(cè)設(shè)置有出口管，所述進(jìn)料槽的一側(cè)設(shè)置有進(jìn)口管，所述進(jìn)口管和出口管的另一端均通過(guò)內(nèi)外螺紋連接在第一清洗池的一側(cè)，所述第一清洗池的一端通過(guò)連接管固定連接有第二清洗池，所述第二清洗池的一端通過(guò)連接管固定連接有第三清洗池，所述第三清洗池的一端通過(guò)連接管固定連接有第四清洗池，所述第四清洗池的一端通過(guò)連接管固定連接在第一清洗池的一側(cè)，所述第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和第四清洗池的內(nèi)部均通過(guò)電機(jī)固定連接有傳送帶，所述第一清洗池內(nèi)部?jī)蓚?cè)壁均設(shè)置有去靜電板，所述第一清洗池的內(nèi)部上壁設(shè)置有污垢檢測(cè)器，所述污垢檢測(cè)器電性連接有推動(dòng)器，所述第二清洗池的內(nèi)部設(shè)置有浸洗液，所述第三清洗池的內(nèi)壁設(shè)置有霧化噴氣口，所述第四清洗池的內(nèi)部上壁設(shè)置有排風(fēng)層，所述排風(fēng)層的下方設(shè)置有電加熱絲。

優(yōu)選的，所述第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和第四清洗池的外側(cè)設(shè)置有外殼。

優(yōu)選的，所述電機(jī)設(shè)置在物料槽的下方。

優(yōu)選的，所述霧化噴氣口的個(gè)數(shù)設(shè)置有若干個(gè)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該清洗裝置可以通過(guò)清洗池內(nèi)的檢測(cè)裝置對(duì)芯片污垢程度進(jìn)行檢測(cè)，如果進(jìn)行一次清洗后污垢程度不達(dá)標(biāo)，可循環(huán)進(jìn)行第二次的清洗過(guò)程，以保證每個(gè)芯片的清洗結(jié)果達(dá)標(biāo)，減少了清洗后的工作量。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型芯片加工清洗裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型第二清洗池結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型第三清洗池結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型第四清洗池結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型第一清洗池結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本實(shí)用新型物料槽和第一清洗池連接示意圖。

圖中：1物料槽、2第三清洗池、3第四清洗池、4電機(jī)、5第二清洗池、6第一清洗池、7外殼、8連接管、9出口管、10進(jìn)口管、11浸洗液、12傳送帶、13霧化噴氣口、14排風(fēng)層、15電加熱絲、16去靜電板、17污垢檢測(cè)器、18推動(dòng)器、19出料槽、20進(jìn)料槽。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“豎直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或者位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或者位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或者暗示所指的裝置或者元件必須具有特定的方位，以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，“第一”、“第二”、“第三”、“第四”僅用于描述目的，而不能理解為指示或者暗示相對(duì)重要性。

本實(shí)用新型的描述中，還需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限制，術(shù)語(yǔ)“設(shè)置”、“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接，可以是機(jī)械連接，也可以是電連接，可以是直接連接，也可以是通過(guò)中間媒介相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。