[實用新型]一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體

有效

• 申請號: 201720341543.9
• 申請日: 2017-04-01
• 公開（公告）號: CN206993470U
• 公開（公告）日: 2018-02-09
• 發明（設計）人: 郭峰;國際瑞;劉善石;牛峰
• 申請（專利權）人: 昆山普樂斯電子科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24;B08B7/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司32224
• 代理人: 董建林

1.一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體，其特征在于：包括真空箱體（1），在真空箱體（1）內部的水平或垂直方向上平行的設置多層電極板（2），相鄰的兩層電極板（2）極性相反；在相鄰的兩層電極板（2）之間的真空箱體（1）的側壁上開有通孔，在真空箱體（1）的外側壁上安裝有與通孔相連通的密封連接裝置（5），導光棒（3）穿過密封連接裝置（5）；導光棒（3）一端位于真空箱體（1）內，一端位于真空箱體（1）外并與光控開關（6）上的光敏電阻（4）相連。

2.根據權利要求1所述的一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體，其特征在于：所述導光棒（3）為石英材質。

3.根據權利要求1所述的一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體，其特征在于：所述光控開關（6）的輸出端口與總信號輸出接頭（8）連接。

4.根據權利要求1所述的一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體，其特征在于：所述電極板（2）采用鋁制電極板。

5.根據權利要求1所述的一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體，其特征在于：在真空箱體（1）外部設有保護罩（7）將光控開關（6）、密封連裝置（5）、導光棒（3）以及光控開關（6）上的光敏電阻（4）均罩在內。

6.根據權利要求1所述的一種具有放電預警反饋功能的真空等離子腔體，其特征在于：所述真空箱體（1）為鋁制。