[實用新型]一種具有雙圓柱增敏結構的MEMS矢量水聽器

有效

• 申請號: 201720329522.5
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN206725084U
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 郝振宇;郭世旭;趙鵬;王月兵
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: G01H3/00
• 分類號: G01H3/00;G01H11/08
• 代理公司: 杭州奧創知識產權代理有限公司33272
• 代理人: 王佳健

1.一種具有雙圓柱增敏結構的MEMS矢量水聽器，包括聚氨酯外套、金屬屏蔽殼，在金屬屏蔽殼與聚氨酯外套中間夾有密封圈，金屬屏蔽殼里面放置前置放大器，聚氨酯外套內設置敏感單元，敏感單元矢量方向位置按照設定的角度擺放并在外部進行標記，敏感單元貼在雙圓柱增敏結構的內壁上，通過屏蔽導線與前置放大器進行電氣連接，屏蔽導線穿過導線連接孔，導線連接孔旁邊為出油孔，雙圓柱增敏結構設置在聚氨酯外套的底座上，聚氨酯外套與雙圓柱增敏結構中間充滿脫氣蓖麻油。

2.根據權利要求1所述的MEMS矢量水聽器，其特征在于：所述的敏感單元采用兩根平行設置的鉑絲，兩根鉑絲上的溫度差用于振速的測量，兩根鉑絲通過MEMS加工工藝刻蝕完成。