[實用新型]一種流體動壓拋光裝置

有效

• 申請號: 201720324539.1
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN206632798U
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發明（設計）人: 鐘波;陳賢華;文中江;王健;許喬;謝瑞清;趙世杰;李潔
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B41/02;B24B49/00;B24B57/02
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 吳開磊

1.一種流體動壓拋光裝置，其特征在于，該裝置包括：

氣囊拋光工具；

用于互相配合以控制所述氣囊拋光工具與待拋光工件之間間隙距離的精密測力臺與精密位移臺；

用于在拋光時向所述氣囊拋光工具與待拋光工件之間供給拋光液的拋光液供給系統，以使所述拋光液在被控制轉動的氣囊拋光工具的帶動下在待拋光工件與氣囊拋光工具之間產生流體動壓；

其中，所述精密測力臺位于所述精密位移臺之上，待拋光工件位于所述精密測力臺之上。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述精密測力臺與精密位移臺互相配合以控制所述氣囊拋光工具與待拋光工件之間間隙距離的方式包括：

所述精密測力臺測量所述氣囊拋光工具在轉動靠近所述待拋光工件的過程中，對所述待拋光工件的作用力是否達到預設壓力范圍；

若對所述待拋光工件的作用力達到了所述預設壓力范圍，控制所述氣囊拋光工具停止轉動靠近，并調節所述精密位移臺使所述待拋光工件逐漸遠離所述氣囊拋光工具直至所述精密測力臺測量的壓力值首次為零。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氣囊拋光工具包括球形橡膠氣囊以及貼附于所述球形橡膠氣囊外表面的聚氨酯材質的拋光墊。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括用于對所述氣囊拋光工具進行修整以矯正存在的誤差因素的精密修整工具，其中，所述誤差因素包括所述球形橡膠氣囊的制造誤差、所述拋光墊的厚度誤差以及所述球形橡膠氣囊與拋光墊的粘貼誤差。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氣囊拋光工具在拋光時傾斜預設角度以使所述氣囊拋光工具的轉動軸線與待拋光工件加工點的法線形成所述預設角度的進動角。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述精密測力臺還用于檢測獲取拋光過程中所述待拋光工件被作用的正向力和反向力數據，以用于分析和優化所述拋光過程。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述拋光液供給系統還用于在拋光時對拋光液供給量和拋光液濃度進行實時控制，并回收從所述氣囊拋光工具周圍排出的拋光液進行過濾以循環供給。

8.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述待拋光工件、精密測力臺和精密位移臺之間通過磁力擋塊裝夾。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述精密測力臺為檢測分辨率小于或等于1牛頓的精密測力儀器。

10.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述精密位移臺為位移分辨率小于或等于0.5微米，行程大于或等于10毫米的精密位移儀器。