[實用新型]基于石墨烯?碳納米管復合結構的熱噴印頭

有效

• 申請號: 201720321370.4
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN206664000U
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 周文利;朱宇;陳昌盛;向耘宏;蔣履輝;喻研;王耘波;高俊雄
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 華中科技大學專利中心42201
• 代理人: 李智,曹葆青

1.一種基于石墨烯-碳納米管復合結構的熱噴印頭，其特征在于，包括：玻璃基底、硅片襯底、主通道，進墨通道、噴墨腔室、噴嘴、噴墨通道、碳納米管-石墨烯復合結構微氣泡發生器陣列、碳納米管溫度傳感器陣列；

主通道、進墨通道、噴墨腔室均為開設在硅片襯底上表面的腔體，主通道和噴墨腔室通過進墨通道連通，且進墨通道深度小于噴墨腔室深度；噴墨通道為設置在硅片襯底下表面的腔體，噴墨通道位于噴墨腔室背面；噴嘴設置在噴墨腔室底部，連接噴墨腔室和噴墨通道；

碳納米管-石墨烯復合結構微氣泡發生器陣列和碳納米管溫度傳感器陣列制備在玻璃基底對應噴墨腔室的區域，且朝向噴墨腔室設置；

玻璃基底和硅片襯底無縫鍵合在一起。

2.如權利要求1所述的一種基于石墨烯-碳納米管復合結構的熱噴印頭，其特征在于，單個石墨烯-碳納米管復合結構微氣泡發生器包括：設置在玻璃基底表面的一對第一石墨烯電極；連接一對第一石墨烯電極的第一碳納米管；將第一碳納米管兩端固定在一對第一石墨烯電極和玻璃基底上的一對第一SiO₂掩膜層。

3.如權利要求1所述的一種基于石墨烯-碳納米管復合結構的熱噴印頭，其特征在于，單個碳納米管溫度傳感器包括：設置在玻璃基底表面的一對金屬電極或一對第二石墨烯電極；連接一對金屬電極或一對第二石墨烯電極的第二碳納米管；將第二碳納米管兩端固定在一對金屬電極和玻璃基底上，或一對第二石墨烯電極和玻璃基底上的一對第二SiO₂掩膜層。

4.如權利要求1-3任意一項所述的一種基于石墨烯-碳納米管復合結構的熱噴印頭，其特征在于，玻璃基底和硅片襯底無縫鍵合的中間層為石墨烯碎片。