[實用新型]一種晶圓針測機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720314259.2
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN206756992U
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設計）人: 王印璽;陶源;江姜
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽超元半導體有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G05D27/02
• 代理公司: 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司31300
• 代理人: 董澤宇

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶圓測試設備領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓針測機。

背景技術(shù)

晶圓測試對環(huán)境要求非常高,針測機對晶圓做針測需要在無塵室環(huán)境下進行。無塵室亦稱為潔凈室，它是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。

芯片設計公司或晶圓代工廠在芯片試生產(chǎn)階段需要對制造出的晶圓做晶圓測試，測試除了需要購買測試設備還需要建造無塵室。目前能滿足芯片設計研發(fā)公司或機構(gòu)做晶圓測試所使用的100級無塵室其造價達最低達百萬人名幣以上。對于成立初期的設計公司難以負擔。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中缺陷與不足的問題，本實用新型提出了一種晶圓針測機，可以在非潔凈室環(huán)境下進行晶圓測試，解決了針測機對晶圓做針測必須在無塵室內(nèi)進行的問題，為企業(yè)大大節(jié)省了生產(chǎn)成本。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種晶圓針測機，包括針測機主體、晶圓傳輸裝置、空氣凈化器一、空氣凈化器二和溫濕度控制器，所述晶圓傳輸裝置與針測機主體相連，空氣凈化器一固定在晶圓傳輸裝置上，針測機主體上安裝有空氣凈化器二和溫濕度控制器。

進一步的，所述針測機主體設有晶圓針測工作臺，其工作臺外設有可密封護罩。

進一步的，所述晶圓傳輸裝置設有晶圓輸送通道。

進一步的，所述晶圓輸送通道與晶圓針測工作臺相連，其通道端口可封閉。

本實用新型具有如下有益效果：本實用新型通過空氣凈化器將針測機主體及晶圓傳輸裝置的內(nèi)部空氣凈化，再配合溫濕度控制器控制晶圓針測工作臺內(nèi)環(huán)境達到無塵室標準，使得所述晶圓針測機在非潔凈室環(huán)境下工作也能滿足晶圓測試的需求，為企業(yè)生產(chǎn)節(jié)約了建造無塵室的大量成本。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。

如圖所示，一種晶圓針測機，包括針測機主體1、晶圓傳輸裝置2、空氣凈化器一3、空氣凈化器二4和溫濕度控制器5，所述晶圓傳輸裝置2與針測機主體1相連，空氣凈化器一3固定在晶圓傳輸裝置2上，針測機主體1上安裝有空氣凈化器二4和溫濕度控制器5。

所述針測機主體1設有晶圓針測工作臺，其工作臺外設有可密封護罩。

所述晶圓傳輸裝置2設有晶圓輸送通道。

所述晶圓輸送通道與晶圓針測工作臺相連，其通道端口可封閉。

具體的，晶圓針測機工作前，先設定好參數(shù)，啟動空氣凈化器一3、空氣凈化器二4和溫濕度控制器5，且封閉針測機工作臺和晶圓輸送通道，當其內(nèi)部空氣落塵數(shù)、溫濕度控制到Class 100標準（Class 100標準為每立方英尺內(nèi)大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆）時，再將晶圓載入到晶圓傳輸裝置2中，由其輸送到針測機主體1的晶圓針測工作臺上完成針測測試。