[實用新型]一種成膜裝置及成膜源有效
| 申請號： | 201720311568.4 | 申請日： | 2017-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN206599607U | 公開（公告）日： | 2017-10-31 |
| 發明（設計）人： | 田寧;趙云;張為蒼;李建華;楊輔 | 申請（專利權）人： | 信利半導體有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司44102 | 代理人： | 鄧義華,陳衛 |
| 地址： | 516600 *** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 裝置 成膜源 | ||
1.一種成膜裝置，其具有把室內設置成真空或減壓狀態的成膜室、和在該成膜室內將成膜材料成膜于基板上的被成膜面上的成膜源，其特征在于，所述成膜源包括將成膜材料加熱使其蒸發或升華為氣態的加熱坩堝、和與加熱坩堝氣密連通的至少兩個緩沖件以及用于實現每一緩沖件伸縮移動的驅動件；其中，
所述加熱坩堝包括用于收容所述成膜材料的坩堝以及用于加熱所述坩堝內的成膜材料的加熱件；
每一所述緩沖件包括與所述坩堝氣密連通的恒溫容器、位于所述恒溫容器底部的下閥門、位于所述恒溫容器頂部的上閥門和出氣口、用于檢測所述恒溫容器的氣壓的壓力傳感器；
所述成膜裝置還包括控制器，其分別與所述加熱件、下閥門、上閥門、壓力傳感器及驅動件連接控制。
2.根據權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，所述恒溫容器為規則形狀的保溫容器。
3.根據權利要求2所述的成膜裝置，其特征在于，所述坩堝頂部設置有一活動開口。
4.根據權利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，所述成膜裝置還包括在蒸鍍位上方的活動擋板，打開擋板使成膜材料成膜于所述擋板面上，關閉擋板使成膜材料成膜于所述被成膜面上。
5.根據權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，所述成膜材料為升華性蒸鍍材料。
6.一種成膜源，其特征在于，其包括將成膜材料加熱使其蒸發或升華為氣態的加熱坩堝、和與加熱坩堝氣密連通的至少兩個緩沖件以及用于實現每一緩沖件伸縮移動的驅動件；
所述加熱坩堝包括用于收容所述成膜材料的坩堝以及用于加熱所述坩堝內的成膜材料的加熱件；
每一所述緩沖件包括與所述坩堝氣密連通的恒溫容器、位于所述恒溫容器底部的下閥門、位于所述恒溫容器頂部的上閥門和出氣口、用于檢測所述恒溫容器的氣壓的壓力傳感器；其中，
所述加熱件、下閥門、上閥門、壓力傳感器及驅動件分別與成膜裝置的控制器連接。
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