[實用新型]一種真空破空用空氣分流裝置

有效

• 申請號: 201720309698.4
• 申請日: 2017-03-28
• 公開（公告）號: CN206553625U
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 王貝;劉銳;羅松松;張勇杰;葛治亮
• 申請（專利權）人: 凱盛重工有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 安徽信拓律師事務所34117
• 代理人: 李德勝

技術領域

本實用新型涉及真空系統中的破空技術領域，具體為一種真空破空用空氣分流裝置。

背景技術

連續式磁控濺射低輻射鍍膜玻璃生產線可以大批量連續式生產所需要的低輻射鍍膜玻璃產品。因為連續化生產的需要，一般鍍膜段的第一個腔室需要反復破空。特別是鍍膜段末端，鍍完膜的玻璃必須在腔室破空并達到一個標準大氣壓時，門閥方能打開，玻璃才能輸送出去。破空的時候，急速的氣流會對玻璃產生沖擊，比較厚時，還可以抵擋住沖擊力。隨著鍍膜玻璃厚度的減小，原來的結構已經不能夠承受破空氣流的沖擊。一旦玻璃在破空時候產生破碎，整線必須停產進行清理，腔體內玻璃全部報廢，同時影響生產進度，給客戶造成很大的損失。

針對現有結構存在的技術缺陷，本實用新型的目的是提供一種真空破空用空氣分流裝置，以降低氣流沖擊力，使玻璃能夠承受破空氣體的沖擊，滿足薄玻璃鍍膜的技術條件。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題在于提供一種真空破空用空氣分流裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

本實用新型所解決的技術問題采用以下技術方案來實現：一種真空破空用空氣分流裝置，包括：真空腔室，所述真空腔室上端設有充氣口，真空腔室一側設有抽氣口，所述充氣口下側設有分流板，所述分流板通過固定螺釘、固定螺帽安裝在真空腔室的頂部，真空腔室內設有輸送裝置，玻璃放置在輸送裝置上，所述固定螺帽安裝在真空腔室頂部預先加工的螺紋孔內，分流板用固定螺釘固定在固定螺帽上。

所述固定螺帽上部為一段外螺紋，下部加工有內螺紋孔，側面加工有通氣孔，沿著底部螺紋孔的軸線方向加工有通氣孔，固定螺帽固定在真空腔室頂部后所形成的小狹小空間中的氣體通過通氣孔和通氣孔排出，固定螺釘安裝在固定螺帽后所形成的的狹小空間中的氣體通過通氣孔排出。

所述固定螺帽通過上部的一段外螺紋和真空腔室頂部預先加工的螺紋旋合，使固定螺帽固定在真空腔室頂部。

所述分流板上分布著若干安裝孔和若干通氣孔，通氣孔在分流板上呈矩陣式分布。

所述分流板上的安裝孔的大小和定位尺寸與頂部預先加工的螺紋孔的大小和定位尺寸相一致。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型很好的解決了磁控濺射鍍膜玻璃生產線中破空氣流對薄玻璃沖擊損壞的問題。同時本實用新型結構簡單，成本較低，操作簡單，可靠性高。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的固定螺帽安裝示意圖。

圖3為本實用新型的分流板結構示意圖。

圖4為本實用新型的固定螺帽結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的實現技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

如圖1～4所示，一種真空破空用空氣分流裝置，包括：真空腔室7，所述真空腔室7上端設有充氣口4，真空腔室7一側設有抽氣口8，所述充氣口4下側設有分流板1，所述分流板1通過固定螺釘3、固定螺帽2安裝在真空腔室7的頂部，真空腔室7內設有輸送裝置6，玻璃5放置在輸送裝置6上，所述固定螺帽2安裝在真空腔室7頂部預先加工的螺紋孔內，分流板1用固定螺釘3固定在固定螺帽2上。

所述固定螺帽2上部為一段外螺紋21，下部加工有內螺紋孔22，側面加工有通氣孔23，沿著底部螺紋孔22的軸線方向加工有通氣孔24，固定螺帽2固定在真空腔室頂部后所形成的小狹小空間中的氣體通過通氣孔23和通氣孔24排出，固定螺釘3安裝在固定螺帽2后所形成的的狹小空間中的氣體通過通氣孔24排出。

所述固定螺帽2通過上部的一段外螺紋21和真空腔室7頂部預先加工的螺紋旋合，使固定螺帽2固定在真空腔室7頂部。

所述分流板1上分布著若干安裝孔11和若干通氣孔12，通氣孔12在分流板1上呈矩陣式分布。

所述分流板1上的安裝孔11的大小和定位尺寸與頂部預先加工的螺紋孔的大小和定位尺寸相一致。

本實用新型腔體破空充氣時，氣流通過充氣口進入腔體，被所述分流板1隔住，氣流隨即沿所述分流板1擴散后通過所述分流板1上的若干通氣孔12擴散開。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型的要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。