[實(shí)用新型]一種用于取放石墨盤的取料爪有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720307529.7 | 申請日： | 2017-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN206541810U | 公開（公告）日： | 2017-10-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 向軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇新智達(dá)新能源設(shè)備有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 常州市權(quán)航專利代理有限公司32280 | 代理人： | 袁興隆 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市濱湖區(qū)隱*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 石墨 取料爪 | ||
1.一種用于取放石墨盤的取料爪，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）的下表面設(shè)置有取料氣缸（2），所述取料氣缸（2）的殼體固定在所述底板（1）上，所述取料氣缸（2）的活塞桿末端設(shè)置有用于卡扣石墨盤外周的卡板（3），所述取料氣缸（2）的活塞桿水平并且沿石墨盤的長度或者寬度方向設(shè)置，當(dāng)所述取料氣缸（2）的活塞桿伸出時(shí)石墨盤能夠放置在所述卡板（3）的內(nèi)側(cè)，當(dāng)所述取料氣缸（2）的活塞桿縮回時(shí)卡板（3）能夠卡緊所述石墨盤的外周。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于取放石墨盤的取料爪，其特征在于：所述卡板（3）為叉形結(jié)構(gòu)，在卡板（3）的兩端設(shè)有可夾持石墨盤外周的墊塊（4）。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于取放石墨盤的取料爪，其特征在于：所述取料爪還包括伸縮氣缸（5），所述伸縮氣缸（5）的缸體固定設(shè)置，所述底板（1）和所述伸縮氣缸（5）的活塞桿固定連接。
4.如權(quán)利要求2所述的一種用于取放石墨盤的取料爪，其特征在于：所述取料氣缸（2）的型號為雙聯(lián)雙出桿型。
5.如權(quán)利要求2所述的一種用于取放石墨盤的取料爪，其特征在于：所述墊塊（4）上與石墨盤接觸的側(cè)面處設(shè)置有網(wǎng)格狀凹紋。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
