[實用新型]用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置

有效

• 申請號: 201720306621.1
• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN206591179U
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 李占成;史浩飛;伍俊;李昕;黃德萍;段銀武;張永娜;余杰
• 申請（專利權）人: 重慶墨希科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/26
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232
• 代理人: 劉文娟

1.用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：包括至少兩層勻流隔熱板(1)，所述勻流隔熱板(1)上設置有通氣孔(3)；

所述勻流隔熱板(1)下表面設置有環形凸臺(2)，所述環形凸臺(2)具有的內圈與勻流隔熱板(1)具有的外圓周面匹配；所述勻流隔熱板(1)由上至下依次分布；

所述相鄰兩層勻流隔熱板(1)中上層勻流隔熱板(1)上的環形凸臺(2)與下層勻流隔熱板(1)的外圓周面轉動配合；所述勻流隔熱板(1)中最下層的勻流隔熱板(1)的環形凸臺(2)底部設置有凸緣(5)；

所述最下層的勻流隔熱板(1)上方的各個勻流隔熱板(1)的環形凸臺(2)上均設置有延伸到凸緣(5)的轉動板(7)；所述凸緣(5)上設置有鎖緊轉動板(7)的鎖緊裝置(9)。

2.如權利要求1所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：所述勻流隔熱板(1)上設置有中心通孔(4)，且所有勻流隔熱板(1)的中心通孔(4)的中心線共線。

3.如權利要求1所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：所述凸緣(5)上設置有環形凹槽(6)，所述轉動板(7)的下端延伸到環形凹槽(6)內，所述凸緣(5)上設置有由凸緣(5)外圓周面延伸到環形凹槽(6)內的弧形滑槽(8)；所述鎖緊裝置(9)采用鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓具有的螺紋端穿過環形凹槽(6)且與轉動板(7)螺紋連接。

4.如權利要求2所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：所述中心通孔(4)位于勻流隔熱板(1)中心位置五分之一的面積區域內。

5.如權利要求1所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：每層勻流隔熱板(1)上的通氣孔(3)，由最下層勻流隔熱板(1)到最頂層的勻流隔熱板(1)依次減小。

6.如權利要求1所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：所述勻流隔熱板(1)的半徑為R，相鄰兩層勻流隔熱板(1)之間的間距為0.5R至2R。

7.如權利要求1所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：所述轉動板(7)采用鋁合金制造。

8.如權利要求1所述的用于石墨烯薄膜生長設備的勻流隔熱裝置，其特征在于：所述環形凸臺(2)采用隔熱材料制造。