[實用新型]立式石墨烯卷對卷連續生長設備

有效

• 申請號: 201720306595.2
• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN206858655U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 伍俊;李占成;史浩飛;王仲勛;李華峰;李昕;黃德萍
• 申請（專利權）人: 重慶墨希科技有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/26
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232
• 代理人: 劉文娟

1.立式石墨烯卷對卷連續生長設備，包括真空上料室(1)、高溫工藝腔室(7)、真空取料室(8)、驅動裝置；所述真空上料室(1)內設置有石墨烯生長基底放料輥(2)，所述真空取料室(8)內設置有石墨烯基底收料輥(9)以及收料導向輥(10)；所述真空上料室(1)和真空取料室(8)均設置有真空泵；所述石墨烯生長基底放料輥(2)以及石墨烯基底收料輥(9)均通過驅動裝置，驅動轉動；所述高溫工藝腔室(7)上設置有快速加熱裝置(6)；

其特征在于：所述高溫工藝腔室(7)設置在真空上料室(1)與真空取料室(8)之間；所述真空上料室(1)位于高溫工藝腔室(7)的下端，所述真空取料室(8)設置在高溫工藝腔室(7)的上端；所述高溫工藝腔室(7)的兩端均設置有快速冷卻裝置(5)；

所述真空上料室(1)內設置有用于檢測石墨烯薄膜(16)張力的張力檢測裝置(3)，所述真空取料室(8)內設置有用于檢測石墨烯薄膜(16)線速度的速度檢測裝置(11)。

2.如權利要求1所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述驅動裝置包括第一驅動裝置(12)以及第二驅動裝置(15)；所述第一驅動裝置(12)與石墨烯生長基底放料輥(2)傳動連接；所述第二驅動裝置(15)與石墨烯基底收料輥(9)傳動連接。

3.如權利要求2所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述石墨烯生長基底放料輥(2)具有的轉軸穿過真空上料室(1)，且通過離合器(13)與第一驅動裝置(12)傳動連接；所述石墨烯基底收料輥(9)具有的轉軸穿過真空取料室(8)，且通過離合器(13)與第二驅動裝置(15)傳動連接。

4.如權利要求3所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述石墨烯生長基底放料輥(2)的轉軸與真空上料室(1)之間設置有真空動密封裝置(14)；所述石墨烯基底收料輥(9)的轉軸與真空取料室(8)之間設置有真空動密封裝置(14)。

5.如權利要求2、3或4所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述第一驅動裝置(12)以及第二驅動裝置(15)均采用伺服電機加減速器。

6.如權利要求1所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述真空上料室(1)內設置有放料導向棍(4)；石墨烯生長基底放料輥(2)上的石墨烯薄膜(16)依次繞過張力檢測裝置(3)、放料導向棍(4)進入高溫工藝腔室(7)。

7.如權利要求6所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：還包括處理器，所述處理器分別與張力檢測裝置(3)以及第一驅動裝置電連接，且所述處理器、張力檢測裝置(3)以及第一驅動裝置(12)形成反饋閉環。

8.如權利要求7所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述處理器分別與速度檢測裝置(11)以及第二驅動裝置(15)電連接，且所述處理器、速度檢測裝置(11) 以及第一驅動裝置(15)形成反饋閉環。

9.如權利要求1所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述真空取料室(8)內的收料導向輥(10)上設置有自然垂下與石墨烯生長基底放料輥(2)上基底卷材連接的引導段。

10.如權利要求1所述的立式石墨烯卷對卷連續生長設備，其特征在于：所述快速冷卻裝置(5)與高溫工藝腔室(7)可拆卸連接。