[實用新型]一種化學氣相沉積系統

有效

• 申請號: 201720306140.0
• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN206607312U
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 郭國平;楊暉;李海歐;曹剛;肖明;郭光燦
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/455
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種化學氣相沉積系統，其特征在于，包括：

化學沉積室；所述化學沉積室包括反應腔體；

設置于化學沉積室外的高溫加熱裝置；

與化學沉積室相連通的氣體供給系統；所述氣體供給系統包括氣體源進氣管與固體源氣體進氣管，所述固體源氣體進氣管位于氣體源進氣管的管內；所述固體源氣體進氣管的出口與所述化學沉積室的反應腔體相連通；所述氣體源進氣管的出口與所述化學沉積室的反應腔體相連通；

與化學沉積室的反應腔體相連通的真空系統。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述化學氣相沉積系統還包括進氣法蘭；所述進氣法蘭包括第一進氣口、第二進氣口與出氣口；所述進氣法蘭的第一進氣口與出氣口相連通；所述出氣口通過卡套接口與所述氣體源進氣管相連通；所述第二進氣口與所述固體源氣體進氣管相連通，且所述第二進氣口與第一進氣口及出氣口不連通。

3.根據權利要求1所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述氣體源進氣管的直徑為40～60mm。

4.根據權利要求1所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述固體源氣體進氣管的直徑為20～30mm；長度為400～600mm。

5.根據權利要求1所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述化學氣相沉積系統還包括固體源加熱裝置；所述固體源加熱裝置與所述固體源氣體進氣管的進口相連通。

6.根據權利要求5所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述固體源加熱裝置還設置有載氣進口。

7.根據權利要求5所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述固體源加熱裝置還設置有溫度傳感器。

8.根據權利要求5所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述固體源氣體進氣管外纏繞有加熱帶。

9.根據權利要求1所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述高溫加熱裝置以硅鉬棒作為加熱元件，氧化鎂作為保溫材料，N型熱電偶作為測溫元件。

10.根據權利要求1所述的化學氣相沉積系統，其特征在于，所述反應腔體為石英管。