[實用新型]一種激光刻邊設備

有效

• 申請號: 201720291511.2
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN206650098U
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 何達能;方結彬;陳剛
• 申請（專利權）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司44104
• 代理人: 侯莉

1.一種激光刻邊設備，其特征在于：它包括用于放置至少一片硅片的固定平臺、可升降的下壓板和在固定平臺外圍設置的激光發生器，所述激光發生器可沿固定平臺外圍的圓周移動，所述下壓板為柱狀體并豎向設于固定平臺的正上方，所述激光發生器移動到位且其發射頭對準硅片的側面，同時下壓板下壓硅片，以便發射頭發射的激光去除硅片周邊的PN結。

2.根據權利要求1所述的激光刻邊設備，其特征在于：固定平臺的臺面內部中空，在臺面的上表面設有用于吸附固定硅片的真空吸附孔，所述真空吸附孔與臺面內部相通并和抽真空裝置連接。

3.根據權利要求2所述的激光刻邊設備，其特征在于：所述激光發生器為Nd：YAG激光器。

4.根據權利要求3所述的激光刻邊設備，其特征在于：所述激光發生器

所發出的激光的光斑直徑為10～250微米。

5.根據權利要求4所述的激光刻邊設備，其特征在于：所述激光發生器所發出的激光的波長為1064nm、532nm或355nm。

6.根據權利要求5所述的激光刻邊設備，其特征在于：所述固定平臺的臺面的形狀為圓形、四方形或六邊形。

7.根據權利要求6所述的激光刻邊設備，其特征在于：所述下壓板的橫截面的形狀是圓形、四方形、五邊形或六邊形。