[實用新型]一種多晶硅鑄錠裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720291403.5 | 申請日： | 2017-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN206814885U | 公開（公告）日： | 2017-12-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王增林 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧夏金海金晶光電產(chǎn)業(yè)有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06;C30B30/04 |
| 代理公司： | 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11411 | 代理人： | 鄭自群 |
| 地址： | 753000 寧夏回族自治*** | 國省代碼： | 寧夏;64 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 鑄錠 裝置 | ||
1.一種多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，包括：
導(dǎo)熱筒體(3)；
所述導(dǎo)熱筒體(3)外繞有螺旋盤管式加熱電極(4)；所述螺旋盤管式加熱電極(4)外套有爐體(1)；所述爐體(1)與所述螺旋盤管式加熱電極(4)之間填充有保溫材料(5)；
所述導(dǎo)熱筒體(3)內(nèi)設(shè)置有坩堝(2)和磁控裝置(6)；
所述磁控裝置(6)設(shè)于所述坩堝(2)下部；
所述爐體(1)外壁上設(shè)置有抽真空裝置(7)。
2.如權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述坩堝(2)包括坩堝體(8)，所述坩堝體(8)的內(nèi)部設(shè)置有容納槽(9)；所述容納槽(9)的下方、所述坩堝體(8)的底部設(shè)置有冷卻腔(10)，所述冷卻腔(10)內(nèi)設(shè)置有冷卻流道(11)。
3.如權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述冷卻流道(11)為費馬螺線流道。
4.如權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述坩堝(2)的數(shù)量與所述磁控裝置(6)的數(shù)量相同為2～100個。
5.如權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述保溫材料(5)為耐火保溫纖維。
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