[實用新型]一種LED擴晶機有效
| 申請號: | 201720290828.4 | 申請日: | 2017-03-23 |
| 公開(公告)號: | CN206584900U | 公開(公告)日: | 2017-10-24 |
| 發明(設計)人: | 易瑞呂;千曉敏;廖娟 | 申請(專利權)人: | 鴻利智匯集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 廣州中浚雄杰知識產權代理有限責任公司44254 | 代理人: | 李肇偉 |
| 地址: | 510890 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 led 擴晶機 | ||
1.一種LED擴晶機,其特征在于:包括擴晶臺面、設于擴晶臺面上的擴晶孔、設于擴晶孔正下方的擴晶氣缸、放置在擴晶孔處的內環套、與內環套配合的外環套、用于放置原料膜的上料工位和用于搬運外環套的機械手;所述內環套固定在擴晶孔的邊緣,所述外環套的直徑大于內環套的直徑,外環套與內環套之間的間隙形成夾持原料膜邊緣的夾持機構,所述外環套的底部與原料膜之間設有相互粘合的粘膠層。
2.根據權利要求1所述的一種LED擴晶機,其特征在于:所述粘膠層設置在外環套的底部。
3.根據權利要求1所述的一種LED擴晶機,其特征在于:所述擴晶機還包括用于校準機械手位置的位置校準裝置。
4.根據權利要求3所述的一種LED擴晶機,其特征在于:所述位置校準裝置包括設于機械手上的攝像機和與攝像機連接的控制器,所述控制器與機械手連接。
5.根據權利要求1所述的一種LED擴晶機,其特征在于:在擴晶臺面的正上方設有原料膜檢測報警裝置。
6.根據權利要求1所述的一種LED擴晶機,其特征在于:所述機械手包括抓手和機械臂。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





