[實(shí)用新型]一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720290585.4
• 申請(qǐng)日: 2017-03-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206635398U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔海波;李劍輝;張堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都南光機(jī)器有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司51230
• 代理人: 楊保剛,李春芳

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種鍍膜機(jī)，尤其涉及一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。目前，熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)普遍使用的工件架系統(tǒng)從外形結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)分為幾大類，傘形(多片式、整體式)、行星式(平面行星式、傘形行星)、平板式(水平、斜面)等，該類工件架系統(tǒng)一般只適用于基片單面鍍膜，用于基片兩面鍍膜的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性差。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有的熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)中用于基片兩面鍍膜的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)穩(wěn)定性較差的缺陷，本實(shí)用新型特提供一種新型的熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括機(jī)架，機(jī)架內(nèi)設(shè)置有真空室，真空室上罩設(shè)有鐘罩，真空室的上方轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)臺(tái)，轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)邊均勻設(shè)置有多個(gè)基片架，所述機(jī)架上設(shè)置有翻轉(zhuǎn)基片架的撥動(dòng)裝置，基片架上還設(shè)置有限制基片架翻轉(zhuǎn)的限位裝置。將待鍍膜的基片卡設(shè)在基片架上，真空室內(nèi)被加熱的靶材蒸發(fā)后沉降在基片表面，待基片的第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)撥動(dòng)裝置，在撥動(dòng)裝置的作用下基片架開(kāi)始翻轉(zhuǎn)，待翻轉(zhuǎn)到合適位置時(shí)，限位裝置將對(duì)翻轉(zhuǎn)基片架進(jìn)行限位，提高了翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。與此同時(shí)，采用撥動(dòng)裝置使得基片架的翻轉(zhuǎn)更為靈活可靠。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述基片架包括固定在轉(zhuǎn)臺(tái)上的支板，支板的背面設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的星輪，星輪上連接有星輪軸，星輪軸穿過(guò)支板的一端連接有夾架，所述撥動(dòng)裝置作用在星輪上。在本方案中，撥動(dòng)裝置撥動(dòng)星輪時(shí)，夾架將帶動(dòng)夾設(shè)在其上的基片翻轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單方便。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述撥動(dòng)裝置包括氣缸以及與氣缸活塞桿連接的撥桿，氣缸固定在機(jī)架上，所述撥桿作用在星輪下端相鄰的兩個(gè)輪齒間。在轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基片第一面鍍膜時(shí)，撥桿處于收回狀態(tài)，不會(huì)導(dǎo)致基片架翻轉(zhuǎn)。在第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)氣缸，氣缸將啟動(dòng)撥桿使之伸長(zhǎng)作用在星輪的相鄰兩個(gè)輪齒間。星輪在轉(zhuǎn)臺(tái)的帶動(dòng)下將往前移動(dòng)，由于撥桿的位置固定，星輪將實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)。星輪為90°四等分，每次翻轉(zhuǎn)角度為90°，兩次翻轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)第二面即背面的鍍膜。

進(jìn)一步地，所述限位裝置包括鉸接在支板上的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上鉸接有限位塊，限位塊作用在星輪上端相鄰的兩個(gè)輪齒間，所述支板上還設(shè)置有彈簧，彈簧的一端與限位塊連接。在星輪翻轉(zhuǎn)時(shí)，限位塊將被彈開(kāi)，此時(shí)彈簧處于拉伸狀態(tài)，待星輪翻轉(zhuǎn)完后，彈簧將把限位塊拉回星輪的上端相鄰兩個(gè)齒輪間，對(duì)星輪的位置進(jìn)行固定，避免在鍍膜時(shí)星輪發(fā)生翻轉(zhuǎn)影響鍍膜效果。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述機(jī)架上設(shè)置有支撐轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的支撐裝置，轉(zhuǎn)臺(tái)的下端設(shè)置有齒圈，機(jī)架的側(cè)壁上設(shè)置有電機(jī)以及與電機(jī)連接的皮帶輪A，機(jī)架上設(shè)置有轉(zhuǎn)桿，轉(zhuǎn)桿的下端設(shè)置有皮帶輪B，皮帶輪B與皮帶輪A通過(guò)皮帶傳送，轉(zhuǎn)桿的上端設(shè)置有與齒圈相嚙合的齒輪。本方案與原有翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)相比，驅(qū)動(dòng)方式從箱式鍍膜機(jī)頂部中心驅(qū)動(dòng)改為鍍膜機(jī)底部側(cè)面?zhèn)鲃?dòng)，結(jié)構(gòu)緊湊，對(duì)于貴金屬的熱蒸發(fā)鍍膜較為經(jīng)濟(jì)、節(jié)約。

進(jìn)一步地，所述支撐裝置包括支撐座，支撐座的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有通孔A，通孔A內(nèi)設(shè)置有軸承A，軸承A中裝配有轉(zhuǎn)桿A，轉(zhuǎn)桿A的前端連接有滾輪A，滾輪A位于轉(zhuǎn)臺(tái)的下端。在本方案中，設(shè)置在轉(zhuǎn)臺(tái)下端面的滾輪A用于支承轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述機(jī)架上設(shè)置有底座，底座上開(kāi)設(shè)有通孔B，通孔B內(nèi)設(shè)置有軸承B，軸承B中轉(zhuǎn)配有連桿B，連桿B的上端連接有與轉(zhuǎn)臺(tái)側(cè)壁接觸的滾輪B。在本方案中，滾輪B的設(shè)置用于在水平方向限制轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍，以保證轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與真空室的室體中心跳動(dòng)誤差≤2mm。

綜上所述，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、將待鍍膜的基片卡設(shè)在基片架上，真空室內(nèi)被加熱的靶材蒸發(fā)后沉降在基片表面，待基片的第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)撥動(dòng)裝置，在撥動(dòng)裝置的作用下基片架開(kāi)始翻轉(zhuǎn)，待翻轉(zhuǎn)到合適位置時(shí)，限位裝置將對(duì)翻轉(zhuǎn)基片架進(jìn)行限位，提高了翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。與此同時(shí)，采用撥動(dòng)裝置使得基片架的翻轉(zhuǎn)更為靈活可靠。

2、在本方案中，撥動(dòng)裝置撥動(dòng)星輪時(shí)，夾架將帶動(dòng)夾設(shè)在其上的基片翻轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單方便。

3、在轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基片第一面鍍膜時(shí)，撥桿處于收回狀態(tài)，不會(huì)導(dǎo)致基片架翻轉(zhuǎn)。在第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)氣缸，氣缸將啟動(dòng)撥桿使之伸長(zhǎng)作用在星輪的相鄰兩個(gè)輪齒間。星輪在轉(zhuǎn)臺(tái)的帶動(dòng)下將往前移動(dòng)，由于撥桿的位置固定，星輪將實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)。星輪為90°四等分，每次翻轉(zhuǎn)角度為90°，兩次翻轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)第二面即背面的鍍膜。