[實用新型]一種用于制絨刻蝕設備的排風管路

有效

• 申請號: 201720288717.X
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN206652813U
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 吳俊旻;常青;扈靜;閆濤;李家棟
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（合肥）有限公司
• 主分類號: B08B15/00
• 分類號: B08B15/00;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所53113
• 代理人: 張璽

技術領域

本實用新型涉及排風管路技術領域，具體為一種用于制絨刻蝕設備的排風管路。

背景技術

制絨，是處理太陽能級硅片的一種工藝方法，是硅太陽能電池片生產過程中的的一道必不可少的工序；刻蝕，也是硅太陽能電池片生產過程中的的一道必不可少的工序，先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理，然后通過其它方式實現腐蝕處理掉所需除去的部分。

在對硅片的制絨和刻蝕過程中，都會產生一定量的氣體，所以就需要對制絨刻蝕設備安裝用來排風的管路，但是現有技術中，制絨刻蝕設備的排風管路存在以下較為明顯的缺陷：常用的排風管路在布局時均有水平走向，水平走向的排風管路內部氣體容易液化，從而在排風管路中形成積酸或積水，積酸或者積水不能及時排放存在泄漏或溢流風險，有很大的安全隱患。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于制絨刻蝕設備的排風管路，以解決上述背景技術中提出的問題。所述的用于制絨刻蝕設備的排風管路具有可通過彈簧和擋板的配合，在密封管內部積累液體過多時，推動擋板從而排放出液體，以實現將排風管路中形成的積酸或積水排放出去的功能，把排風橫管底部的積液實時引導排放，不需要人為控制，使管路內部不能形成積液，消除隱患的特點。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于制絨刻蝕設備的排風管路，包括連接管、排風橫管、排風主管以及排液管，連接管一端連接于制絨刻蝕設備上，連接管的另一端連接有排風橫管，排風橫管中貫通插設有排風主管，所述排風橫管內腔底壁貫通開設有液流孔，所述排風橫管外壁上在液流孔處固定有密封管，所述密封管外側套設有套管，所述套管一端固定于排風橫管的外壁上；

所述套管遠離排風橫管一端固定有固定板，所述固定板靠近密封管一側表面固定有安裝板，所述安裝板遠離固定板一側設置有擋板，所述擋板通過若干彈簧固定于安裝板上；

所述固定板中貫通開設有通孔，所述套管遠離排風橫管一端固定有排液管。

優選的，所述排風橫管內腔底壁在液流孔兩側對稱固定有引流塊，所述引流塊遠離液流孔一端固定于排風橫管內側壁上，且兩塊所述引流塊的上表面均向液流孔傾斜。

優選的，所述彈簧設置有不少于兩組，且彈簧以安裝板中心為對稱中心呈對稱分布。

優選的，所述擋板靠近密封管一側鋪設有密封層。

優選的，所述通孔開設于安裝板與套管內側壁之間的豎直平面內。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型在排風橫管的下端固定連接有密封管，密封管用來對排風橫管中液化的液體進行引流，使其進入密封管中，密封管外部套設一個套管，密封管下端通過擋板來進行密封，擋板通過彈簧固定于安裝板上，當密封管內積累液體體積達到一定范圍時，由于液體自身的重力，對彈簧進行擠壓，使得擋板向下運動，從而使得密封管的下端打開，密封管內部積累的液體就流入到密封管和套管之間，然后通過通孔流出，經由排液管排放出液體。

本實用新型在現有的排風管路中加入了用來防止積液的排液管，排液管上端通過彈簧和擋板的配合，在密封管內部積累液體過多時，推動擋板從而排放出液體，以實現將排風管路中形成的積酸或積水排放出去的功能，把排風橫管底部的積液實時引導排放，不需要人為控制，使管路內部不能形成積液，消除隱患；而且擋板和彈簧的設置，在液體積累過多擠壓彈簧時，只有積累在密封管底部的液體才會流出，可以很好的防止氣體從排液管泄漏出去，防止氣體污染。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型結構半剖示意圖；

圖3為本實用新型A區放大示意圖。

圖中：1制絨刻蝕設備、2連接管、3排風橫管、4排風主管、5液流孔、6密封管、7套管、8固定板、81通孔、9安裝板、10彈簧、101引流塊、11擋板、12排液管。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-3，本實用新型提供一種技術方案：