[實(shí)用新型]一種多光譜混合波合束光源與曝光機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720287440.9
• 申請(qǐng)日: 2017-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206741196U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林國(guó)棟;張松嶺;黃明明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市海目星激光科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02B27/10
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司44205
• 代理人: 唐致明

1.一種多光譜混合波合束光源，其特征在于，包括第一光源、第二光源與光源合束鏡，所述光源合束鏡設(shè)于所述第一光源與第二光源所射出的光束的相交處，其可對(duì)所述第一光源射出的第一光束進(jìn)行折射，以及對(duì)所述第二光源射出的第二光束進(jìn)行反射，所述第二光束經(jīng)反射后沿所述第一光束前進(jìn)的方向射出，以與所述第一光束形成混合光束。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多光譜混合波合束光源，其特征在于，所述第一光束的波長(zhǎng)為345nm-405nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多光譜混合波合束光源，其特征在于，所述第一光源的波長(zhǎng)為355nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多光譜混合波合束光源，其特征在于，所述第二光束的波長(zhǎng)為305nm-340nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多光譜混合波合束光源，其特征在于，所述第二光束的波長(zhǎng)為325nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的多光譜混合波合束光源，其特征在于，所述第一光源與第二光源均包括集光鏡與LED芯片，多個(gè)所述LED芯片所射出的光束經(jīng)過(guò)對(duì)應(yīng)所述集光鏡后平行射出。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多光譜混合波合束光源，其特征在于，所述第一光束與第二光束正交，所述光源合束鏡與所述第一光束、第二光束之間的夾角均為45°。

8.一種曝光機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的多光譜混合波合束光源。