[實用新型]一種電離效果穩定的射頻離子源中和器

有效

• 申請號: 201720287325.1
• 申請日: 2017-03-22
• 公開（公告）號: CN206834151U
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 劉偉基;冀鳴;陳蓓麗
• 申請（專利權）人: 中山市博頓光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/30
• 分類號: H01J37/30;H01J37/08;H01J37/317;H01J37/32
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司44214
• 代理人: 吝秀梅,李彥孚

1.一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，包括射頻電源、射頻感抗匹配網絡、起輝維持極(110)、外罩體(170)、射頻線圈(130)、絕緣電離腔體(140)及正離子收集極(150)；射頻電源通過射頻感抗匹配網絡與射頻線圈(130)連接；射頻線圈(130)螺旋設于絕緣電離腔體(140)的外側壁，外罩體(170)套設于射頻線圈(130)的外側，外罩體(170)無頂部及底部；絕緣電離腔體(140)罩設于正離子收集極(150)且與正離子收集極(150)圍合形成絕緣電離腔室；絕緣電離腔體(140)開設有發射孔(180)，起輝維持極(110)開設有與發射孔(180)對應的第一通孔(190)；正離子收集極(150)開設有用于通入惰性氣體的進氣通道(200)，以及連通進氣通道(200)和絕緣電離腔室之間的惰性氣體供氣孔(160)；起輝維持極(110)用于維持中和器內部的電離狀態。

2.根據權利要求1所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，絕緣電離腔體(140)的外側壁設有螺旋線槽(141)，射頻線圈(130)螺旋設于螺旋線槽(141)內。

3.根據權利要求1所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，所述離子源中和器還包括罩射于外罩體(170)外的屏蔽外殼(120)，屏蔽外殼(120)開設有與發射孔(180)對應的第二通孔(210)。

4.根據權利要求3所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，所述離子源中和器還包括設于外罩體(170)與屏蔽外殼(120)之間的導熱片。

5.根據權利要求3所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，外罩體(170)的頂部設有上沿臺階(171)，射頻線圈(130)位于上沿臺階(171)下。

6.根據權利要求5所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，絕緣電離腔體(140)外側壁的底部設有用于支撐外罩體(170)的支撐部(142)。

7.根據權利要求1所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，外罩體(170)及絕緣電離腔體(140)為氮化鋁陶瓷結構。

8.根據權利要求1所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，外罩體(170)上設有防卡死開口(172)。

9.根據權利要求1所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，所述離子源中和器還包括與正離子收集極(150)連接的正離子收集極電源；還包括與所述起輝維持極(110)連接的起輝維持極電源。

10.根據權利要求1至9任一項所述的一種電離效果穩定的射頻離子源中和器，其特征在于，所述絕緣電離腔體(140)為圓柱形腔體，發射孔(180)設于絕緣電離腔體(140)遠離正離子收集極(150)的一端的中部。