[實用新型]化學品溫度冷熱交換器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720287000.3 | 申請日： | 2017-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN206575746U | 公開（公告）日： | 2017-10-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳景韶 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海提牛機電設(shè)備有限公司 |
| 主分類號： | H05K7/20 | 分類號： | H05K7/20 |
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| 地址： | 201713 上海市青浦區(qū)朱家*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學品 溫度 熱交換器 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種冷熱交換器，更具體的說，它涉及一種化學品溫度冷熱交換器。
背景技術(shù)
在集成電路芯片制造過程中，對芯片所接觸化學品溫度控制是采用投入式加熱器；在工藝槽內(nèi)放置冷盤管，通過外界冷媒在冷盤管內(nèi)循環(huán)實現(xiàn)控制槽內(nèi)溫度，在工藝槽外放置冷卻槽，使冷卻槽和工藝槽之間循環(huán)達到控制溫度的目的，要控制的化學品的潔凈度沒法做到很好，溫度控制精度不高，易造成芯片生產(chǎn)工藝不完整，產(chǎn)品成品率底下，降低了生產(chǎn)效率。
實用新型內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種能夠?qū)に嚥蹆?nèi)進行溫度控制，避免了工藝槽內(nèi)出現(xiàn)顆粒沉積污染的情況的化學品溫度冷熱交換器。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了如下技術(shù)方案：一種化學品溫度冷熱交換器，其包括工藝槽、溫控交換槽、循環(huán)泵、過濾器、循環(huán)管路和能量交換管路，所述工藝槽的出液口與循環(huán)泵的進口連接，循環(huán)泵的出口連接能量交換管路的一端口，能量交換管路的另一端口連接過濾器的進口端，過濾器的出口端連接工藝槽的進液口，所述能量交換管路設(shè)置在溫控交換槽內(nèi)，所述工藝槽、循環(huán)泵、能量交換管路和過濾器之間依次均通過循環(huán)管路連接。
通過采用上述技術(shù)方案，用于芯片加工的化學品注入工藝槽內(nèi)，通過循環(huán)泵的動力使得化學品在循環(huán)管路內(nèi)運行流動，并使得化學品依次在工藝槽、循環(huán)泵、能量交換管路、過濾器、工藝槽之間循環(huán)流動，并通過溫控交換槽與能量交換管路之間的能量交換控制，使得能夠控制循環(huán)管路內(nèi)的化學品溫度穩(wěn)定。
本實用新型進一步設(shè)置為：所述溫控交換槽包括恒溫機、能量交換器和控溫管路，恒溫機的控溫段連接控溫管路，控溫管路連接設(shè)置在能量交換器內(nèi)，恒溫機通過控溫管路控制能量交換器內(nèi)的溫度變化，所述能量交換管路設(shè)置在能量交換器內(nèi)。
本實用新型進一步設(shè)置為：所述能量交換管路為波紋管。
本實用新型進一步設(shè)置為：所述循環(huán)管路和能量交換管路均由全氟烷氧基樹脂制成。
本實用新型進一步設(shè)置為：所述循環(huán)泵為氣動隔膜泵。
本實用新型具有下述優(yōu)點：通過工藝槽與溫控裝置之間分離設(shè)置，避免了工藝槽內(nèi)化學品的污染，保障了化學品潔凈度，提高了化學品對芯片加工過程中的潔凈度，保障了芯片工藝安全，通過波紋管的設(shè)置，使得最大面積的冷熱交換，縮短了目標溫度運行時間，通過循環(huán)管路和能量交換管路均由全氟烷氧基樹脂制成，使得高純?nèi)檠趸鶚渲馁|(zhì)管路，可以保障潔凈度，通過恒溫機的設(shè)置，使得能夠?qū)囟冗M行控制，且溫度的穩(wěn)定性越平穩(wěn)，越有利于芯片上的線路均勻性和良率。
附圖說明
圖1為本實用新型化學品溫度冷熱交換器的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
圖中：1、工藝槽；2、溫控交換槽；3、循環(huán)泵；4、過濾器；5、循環(huán)管路；6、能量交換管路；7、恒溫機；8、能量交換器；9、控溫管路。
具體實施方式
參照圖1所示，本實施例的一種化學品溫度冷熱交換器，其包括工藝槽1、溫控交換槽2、循環(huán)泵3、過濾器4、循環(huán)管路5和能量交換管路6，所述工藝槽1的出液口與循環(huán)泵3的進口連接，循環(huán)泵3的出口連接能量交換管路6的一端口，能量交換管路6的另一端口連接過濾器4的進口端，過濾器4的出口端連接工藝槽1的進液口，所述能量交換管路6設(shè)置在溫控交換槽2內(nèi)，所述工藝槽1、循環(huán)泵3、能量交換管路6和過濾器4之間依次均通過循環(huán)管路5連接。
所述溫控交換槽2包括恒溫機7、能量交換器8和控溫管路9，恒溫機7的控溫段連接控溫管路9，控溫管路9連接設(shè)置在能量交換器8內(nèi)，恒溫機7通過控溫管路9控制能量交換器8內(nèi)的溫度變化，所述能量交換管路6設(shè)置在能量交換器8內(nèi)。
所述能量交換管路6為波紋管。
所述循環(huán)管路5和能量交換管路6均由全氟烷氧基樹脂制成。
所述循環(huán)泵3為氣動隔膜泵。
通過采用上述技術(shù)方案，用于芯片加工的化學品注入工藝槽1內(nèi)，通過循環(huán)泵3的動力使得化學品在循環(huán)管路5內(nèi)運行流動，并使得化學品依次在工藝槽1、循環(huán)泵3、能量交換管路6、過濾器4、工藝槽1之間循環(huán)流動，并通過溫控交換槽2與能量交換管路6之間的能量交換控制，使得能夠控制循環(huán)管路5內(nèi)的化學品溫度穩(wěn)定。
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