[實用新型]一種多位電阻蒸發裝置有效
| 申請號： | 201720285585.5 | 申請日： | 2017-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN207130331U | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發明（設計）人： | 王偉;盧成 | 申請（專利權）人： | 成都國泰真空設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都科奧專利事務所(普通合伙)51101 | 代理人： | 李志清 |
| 地址： | 610000 四川省成都市溫江*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電阻 蒸發 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種多位電阻蒸發裝置，其特征在于：包括坩堝、電極和傳動系統，傳動系統包括步進電機、傳動齒輪組和傳動軸，坩堝安裝在真空鍍膜機內，且坩堝設有多個蒸發舟，電極安裝在真空鍍膜機的底部，傳動系統位于真空鍍膜機的底部，步進電機和傳動軸通過傳動齒輪組連接，傳動軸穿過真空鍍膜機的底部與坩堝連接。
2.根據權利要求1所述的多位電阻蒸發裝置，其特征在于：所述坩堝設有12個蒸發舟，且每個蒸發舟底部設有兩個觸點。
3.根據權利要求2所述的多位電阻蒸發裝置，其特征在于：所述蒸發舟兩個觸點分別與電極的正負極相接觸。
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