[實用新型]玻璃基板表面粉塵檢測系統

有效

• 申請號: 201720284600.4
• 申請日: 2017-03-22
• 公開（公告）號: CN206832699U
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 王步洲;李志軍;史偉華;胡恒廣;常慧;劉奎寧;姚小闊
• 申請（專利權）人: 東旭科技集團有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙)11447
• 代理人: 辛自強,陳慶超

1.一種玻璃基板表面粉塵檢測系統，玻璃基板(5)沿傳送裝置以豎直狀態沿水平方向進行傳送，其特征在于，該系統包括

檢測裝置(3)，所述檢測裝置(3)為照射方向與所述玻璃基板(5)表面相平行的光源，以用于檢測所述玻璃基板(5)表面的粉塵，

第一驅動裝置(1)，所述檢測裝置(3)安裝于所述第一驅動裝置(1)上，所述第一驅動裝置(1)用于驅動所述檢測裝置(3)沿垂直于所述玻璃基板(5)的軸線周向旋轉。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，還包括用于安裝所述第一驅動裝置(1)的支架以及可滑動地安裝該支架的滑軌，所述滑軌沿所述玻璃基板(5)傳送方向布置，所述檢測系統還包括用于驅動所述支架沿所述滑軌往復移動的第二驅動裝置(2)。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，還包括控制臺(4)，所述控制臺(4)上具有用于控制所述第一驅動裝置(1)和所述第二驅動裝置(2)的控制裝置。

4.根據權利要求1所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，所述第一驅動裝置(1)為伺服電機。

5.根據權利要求2所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，所述第二驅動裝置(2)為直線電機，所述滑軌為所述直線電機的滑軌。

6.根據權利要求3所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，所述控制裝置為控制手柄，并且所述控制臺上設置有用于顯示所述檢測裝置(3)當前位置和角度的顯示屏。

7.根據權利要求2或5所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，所述支架形成為T型板，該T型板包括水平板(61)和用于安裝所述第一驅動裝置(1)的豎直板(62)，所述水平板(61)位于所述豎直板(62)的下端且安裝于所述滑軌上。

8.根據權利要求7所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，所述豎直板(62)上形成有用于所述第一驅動裝置(1)的旋轉軸穿過的通孔，所述旋轉軸上安裝有用于固定所述檢測裝置(3)的夾持裝置。

9.根據權利要求1所述的玻璃基板表面粉塵檢測系統，其特征在于，所述傳送裝置具有夾持所述玻璃基板(5)上邊緣的夾具。