[實用新型]離子泵電源

有效

• 申請號: 201720278043.5
• 申請日: 2017-03-21
• 公開（公告）號: CN206595902U
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 楊超
• 申請（專利權）人: 楊超
• 主分類號: H02M3/337
• 分類號: H02M3/337
• 代理公司: 成都頂峰專利事務所(普通合伙)51224
• 代理人: 趙正寅

技術領域

本實用新型涉及離子泵，具體涉及離子泵電源。

背景技術

濺射離子泵廣泛用于細長型的密閉真空系統，如粒子加速器、同步輻射光源、材料表面分析設備、光陰極電子槍等。離子泵電源是濺射離子泵關鍵部件，真空系統主抽濺射離子泵，其自身的極限真空度通常要求比裝置設計真空度高半個數量級到一個數量級，因此，要研發10^-10Pa的濺射離子泵，離子泵電源的輸出特性、重量、體積和紋波是關鍵因素。

離子泵電源有電阻分壓式、漏磁變壓器式。電阻分壓式，其輸出特性較差，沒有反饋調節，最大輸出電壓隨輸入電壓變化而變化。漏磁變壓器式離子泵電源，工作穩定,重復性好，但重量、體積和紋波等方面還不能令人滿意。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提出了一種體積小、重量輕，具有反饋調節的離子泵電源。

本實用新型的技術方案是：一種離子泵電源，包括電源輸入端、降壓式變換電路、推挽電路、倍壓整流電路和電源輸出端，所述電源輸入端電連接所述降壓式變換電路的輸入端；所述降壓式變換電路的輸出端連接所述推挽電路的輸入端；所述推挽電路的輸出端連接所述倍壓整流電路的輸入端；所述倍壓整流電路的輸出端連接所述電源輸出端；該離子泵電源還包括輸出電流采集反饋電路、設有±12V電壓輸入端的反饋控制電路和隔離驅動變壓器電路；所述輸出電流采集反饋電路的輸入端連接所述倍壓整流電路的輸出端；所述輸出電流采集反饋電路的輸出端連接所述反饋控制電路的輸入端；所述反饋控制電路的輸出端連接所述隔離驅動變壓器電路的輸入端；所述隔離驅動變壓器電路的輸出端連接所述降壓式變換電路的輸入端。

進一步優選的是，所述降壓式變換電路包括漏極與所述電源輸入端相連的第一MOS管；所述第一MOS管的源極和柵極均與所述隔離驅動變壓器電路連接；所述第一MOS管的源極還連接有電感和接地的二極管。

更進一步優選的是，所述推挽電路的變壓器線路包括兩個并聯的第一主線圈和第二主線圈，以及相對應的一個副線圈；所述第一主線圈的一端連接有第二MOS管的源極，第一主線圈的另一端連接所述電感；所述第二主線圈的一端連接有第三MOS管的源極，第二主線圈的另一端連接所述電感；所述第二MOS管和第三MOS管的漏極均接地；所述第二MOS管和第三MOS管的柵極均連接所述反饋控制電路；所述副線圈的兩端連接所述倍壓整流電路的輸入端。

更進一步優選的是，所述輸出電流采集反饋電路包括第一輸入端連接所述副線圈的第一運算放大器；所述第一運算放大器的輸出端為電流遙測輸出端；所述第一運算放大器的第二輸入端連接有第二運算放大器的輸出端；所述第二運算放大器的第一輸入端連接有第三運算放大器的輸出端；所述第二運算放大器的第二輸入端接地；所述第二運算放大器的第一輸入端和輸出端之間并聯有電阻；所述第三運算放大器的第一輸入端通過電阻連接所述倍壓整流電路的輸出端；所述第三運算放大器的第二輸入端連接其輸出端；所述第一運算放大器的第一輸入端和所述第三運算放大器的第一輸入端之間并聯有一個接地的電阻旁路；所述第三運算放大器的輸出端還通過一個電阻連接有第四運算放大器的第一輸入端；所述第四運算放大器的輸出端為電壓遙測輸出端；所述第四運算放大器的第二輸入端連接其輸出端。

更進一步優選的是，所述反饋控制電路包括型號為UC1823A的第一PWM控制器，所述控制器的輸入、輸出端分別連接有第五運算放大器的輸出端和型號為ICL7667的第一驅動芯片；所述第五運算放大器的第一輸入端連接所述第三運算放大器的輸出端；所述第五運算放大器的第二輸入端連接有作為差壓調理用的第六運算放大器的輸出端；所述第六運算放大器的兩個輸入端為壓控輸入端口；所述第五運算放大器的第一輸入端連接和輸出端還并聯有第一旁路和一個設有電容的旁路；所述第一旁路上設有串聯的電容和電阻；所述第一驅動芯片通過所述隔離驅動變壓器電路連接所述降壓式變換電路的柵極和源極；所述反饋控制電路還包括型號為UC1825A的第二PWM控制器；所述第二PWM控制器通過一個型號為ICL7667的第二驅動芯片分別連接所述第二MOS管和第三MOS管的漏極與柵極。

更進一步優選的是，在所述電源輸入端和降壓式變換電路之間還串聯有輸入過流保護電路、開關機控制電路、狀態指示電路和濾波電路。