[實(shí)用新型]一種超導(dǎo)微波納米諧振腔

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720276021.5
• 申請(qǐng)日: 2017-03-20
• 公開（公告）號(hào): CN206610898U
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭國平;楊鑫鑫;賈志龍;孔偉成;段鵬;薛光明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01P7/06
• 分類號(hào): H01P7/06
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，包括：

介質(zhì)基片、兩個(gè)共面波導(dǎo)地平面、共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線和納米腔；

兩個(gè)所述共面波導(dǎo)地平面、所述共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線和所述納米腔位于所述介質(zhì)基片同一表面；

所述共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線位于兩個(gè)所述共面波導(dǎo)地平面之間；

所述納米腔位于所述共面波導(dǎo)地平面區(qū)域內(nèi)，且位于所述介質(zhì)基片表面上；

其中，所述納米腔的線寬為百納米級(jí)別，且所述納米腔背離所述共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線的邊上設(shè)置有開口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述納米腔的線寬小于或等于500納米。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述納米腔的線寬為100納米。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述開口在沿其所在的所述納米腔的邊長方向上的尺寸大于5微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述開口在沿其所在的所述納米腔的邊長方向上的尺寸為其所在的所述納米腔的邊長。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述納米腔朝向所述共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線的邊上還包括相互串接的多個(gè)超導(dǎo)量子干涉裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述納米腔與所述共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線之間的距離大于或等于6微米。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述納米腔與所述共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線之間的距離為20微米。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述介質(zhì)基片為硅基片或藍(lán)寶石基片。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超導(dǎo)微波納米諧振腔，其特征在于，所述共面波導(dǎo)地平面、共面波導(dǎo)傳輸線中央導(dǎo)帶線和納米腔的金屬部分的材質(zhì)為鈮材質(zhì)或氮化鈮材質(zhì)。