[實(shí)用新型]一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720274453.2
• 申請日: 2017-03-21
• 公開（公告）號: CN206998616U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡孔林;王晨宇;蔡金榮
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B53/095
• 代理公司: 上海海頌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31258
• 代理人: 陳麗君

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種拋光墊修整輪治具。

背景技術(shù)

化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是指利用機(jī)械化學(xué)的作用使工件表面粗糙度降低，以獲得光亮、平整表面加工方法，是利用拋光工具和磨料顆粒或其他拋光介質(zhì)對工件表面進(jìn)行修飾加工的方法。化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)廣泛用于光學(xué)、窗口平面產(chǎn)品的拋光加工，既能實(shí)現(xiàn)高平坦化又能夠達(dá)到高精度表面質(zhì)量。隨著平面光學(xué)應(yīng)用及窗口領(lǐng)域的發(fā)展，對產(chǎn)品加工質(zhì)量要求越來越高，成本要求越來越低，提高產(chǎn)品質(zhì)量、提升生產(chǎn)效率成為行業(yè)內(nèi)企業(yè)的主要挑戰(zhàn)之一。

拋光墊是化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中的關(guān)鍵部件之一，拋光墊的性能對拋光效率和加工質(zhì)量有著重要影響。對拋光墊進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚梢栽黾訏伖鈮|表面的平整度、使材料去除率趨于一致，提高產(chǎn)品質(zhì)量、提升生產(chǎn)效率。現(xiàn)有行業(yè)上對拋光墊的修整主要采用不銹鋼修整輪與鑄鐵兩種材質(zhì)修整輪，其修整時(shí)間長效率低、效果差，使拋光墊拋光后的產(chǎn)品的平坦度和精度達(dá)不到質(zhì)量要求，從而導(dǎo)致加工良品率低，成本居高不下。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具，對拋光墊平整度修整效果、效率顯著提升，大大降低了加工成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具，其特征在于，包括不銹鋼基體，所述不銹鋼基體為圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，所述不銹鋼基體的外圓周側(cè)面均勻分布200個(gè)平齒，所述平齒的齒頂圓直徑為427mm，所述平齒的齒中圓直徑為423mm，所述平齒的齒內(nèi)圓直徑為417mm；所述不銹鋼基體中心設(shè)有通孔，所述通孔的內(nèi)圓直徑為300mm，所述通孔的邊緣設(shè)置有半圓倒角，所述半圓倒角的直徑為10mm；所述不銹鋼基體的正面設(shè)有外圓凹槽組和內(nèi)圓凹槽組，所述外圓凹槽組和所述內(nèi)圓凹槽組分別由圓形凹槽構(gòu)成，所述圓形凹槽的直徑為16mm深度為2mm，所述外圓凹槽組由均勻分布的32個(gè)所述圓形凹槽構(gòu)成，所述外圓凹槽組的凹槽圓心均落在所述不銹鋼基體直徑為390mm的圓周上，所述內(nèi)圓凹槽組由均勻分布的24個(gè)所述圓形凹槽構(gòu)成，所述內(nèi)圓凹槽組的凹槽圓心均落在所述不銹鋼基體直徑為340mm圓周上；所述圓形凹槽內(nèi)均分別粘貼直徑為16mm的鉆石丸片；所述不銹鋼基體的反面均勻設(shè)置有四個(gè)溝槽；

上述的一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具，其中，所述不銹鋼基本的厚度為25mm；

上述的一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具，其中，所述鉆石丸片的高度為5.5mm、粒度為100#；

上述的一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具，其中，所述溝槽的寬度為4mm，深度為4mm，長度為127.5mm。

本實(shí)用新型的有益效果表現(xiàn)在：

本實(shí)用新型提供的一種鉆石丸片拋光墊修整輪治具，包括不銹鋼基體，不銹鋼基體的外圓周側(cè)面設(shè)置有平齒，內(nèi)部設(shè)置有同心通孔，且在不銹鋼基體上粘貼有鉆石丸片，三者相互配合，互相作用，使對拋光墊修整的效果明顯提高，傳統(tǒng)的修整輪治具的修正時(shí)間約為3小時(shí)，采用本實(shí)用新型的修整輪治具后的修整時(shí)間為20分鐘，大大提高了修整效率，顯著的降低成本；在修整輪治具的背面設(shè)有四個(gè)溝槽，促進(jìn)修整液在整個(gè)修整輪治具的流動，增強(qiáng)修整效果，并且?guī)ё咭蚰Σ廉a(chǎn)生的熱量，而且本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性高。

附圖說明

圖1 本實(shí)用新型主視圖。

圖2 本實(shí)用新型A-A向剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做出具體的說明。