[實用新型]一種低沸點物質汽化裝置

有效

• 申請號: 201720273824.5
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN206587426U
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 單蘭英
• 申請（專利權）人: 無錫市孚艾科技有限公司
• 主分類號: B01D1/22
• 分類號: B01D1/22;B01D1/30
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

技術領域

本發明涉及一種蒸發調控裝置，尤其是低沸點物質蒸發調控裝置。

背景技術

在電子、半導體、光通訊、太陽能、石英生產行業中，需要對SiCl₄(沸點57.6℃)、GeCl₄(沸點84℃)等低沸點物質進行精確并穩定的流量控制，能達到精確并穩定控制的裝置目前都是使用氣態的流量控制器，因此就必須對這些物質進行汽化，然后進行流量控制，蒸發主要通過對蒸發器加熱的方式。這些低沸點物質汽化后，在氣態的輸送過程中，需要保證順著流向末端的溫度大于或等于前端的溫度，如果末端溫度低于前端溫度，則就會產生液化現象，最終導致流量控制不穩定，繼而流量控制器損壞無法控制的現象。

目前低沸點物質蒸發調控用蒸發器、閥門、過濾器、流量控制器等裝置配件皆安裝在一個恒溫箱內，為保障蒸發器處于較低溫度，則蒸發器內設計冷卻盤管，內部通入冷卻水以達到降溫的目的。

現有技術為蒸發器內部冷卻，外部加熱的方式，能耗比較大，同時蒸發器內部溫度穩定性不足，導致壓力波動大，影響輸出流量。蒸發器內部冷卻水系統容易出現問題，當冷卻水系統故障時，流量控制器流量的變化，蒸發器內溫度就會過高，進而導致后端氣態物質液化，流量控制則失效。

發明內容

本發明的目的是為了完全取消蒸發器內冷卻水系統，在汽化裝置內布置一逐級提升的溫度場，進而杜絕低沸點氣態物質發生液化現象，保障流量輸出穩定。

本發明提供一種低沸點物質汽化裝置，包括柜體，設置在柜體下部的進液口以及柜體上部的出氣口，設置在柜體內部的蒸發器和氣體流量控制器，所述柜體內設置有加熱板，所述加熱板將柜體分隔為上腔室和下腔室，所述下腔室的容積大于所述上腔室的容積，所述加熱板為水平設置，且加熱板上下表面的放熱量相同。

所述蒸發器設置在下腔體中，蒸發器底部設有進料口，頂部設有出料口，進料口通過輸液管與進液口連接，出料口通過輸氣管穿過加熱板進入上腔室中，輸氣管在上腔室中與所述出氣口連接，所述氣體流量控制器設置在輸氣管的接近出氣口處。

下腔室靠加熱板進行加熱，維持內部溫度。加熱板位于下腔室上部，下腔室內溫度分布是由下至上逐漸升高，越靠近加熱裝置區域溫度越高。上腔室也是靠加熱板進行加熱，但是上腔室整個腔體容積要比下腔室小，同時高溫氣體往上升，這樣就能保證上腔室溫度大于下腔室溫度。

氣體物質由蒸發器頂部出來后，通過輸送管輸送至上腔室，在下腔室的輸送過程中，隨著高度的提高，周圍溫度逐漸升高，避免了氣態物質在管路中的液化。然后氣態物質經過流量控制器調控流量輸送出設備。

進一步的，所述輸氣管在下腔室的部分為傾斜設置，與水平夾角小于等于45°，所述輸氣管在上腔室的部分為水平設置。

進一步的，所述輸氣管在下腔室的部分與水平夾角小于等于5°。

傾斜輸送管采用傾斜提升的設計，能夠保證傾斜管溫度逐漸提升，防止內部氣態物質液化的目的。同時能夠有效保障當加熱板意外損壞時，管路溫度降低，氣態物質液化，從傾斜管倒流回蒸發器內，不會進入氣態流量控制器中，防止氣態流量控制器損壞。

進一步的，所述蒸發器的加熱裝置設置在蒸發器的外表面。提高了蒸發器內部溫度的穩定性。

進一步的，所述輸液管上從進液口到進料口依次設有進液手動閥、進液過濾器、進液計量閥、預加熱器及進液氣動閥。

進一步的，所述輸氣管在上腔室的部分按氣體流動方向，在所述氣體流量控制器之前還設有氣態閥門和氣態過濾器。

進一步的，所述柜體的四周設有保溫層。

附圖說明

圖1是本發明低沸點物質汽化裝置側視截面圖；

圖2是本發明低沸點物質汽化裝置俯視截面圖；

圖中：1-柜體、2-進液口、3-出氣口、4-蒸發器、5-氣體流量控制器、6-加熱板、7-上腔室、8-下腔室、9-輸液管、10-輸氣管、11-保溫層、201-進液手動閥、202-進液過濾器、203-進液計量閥、204-預加熱器、205-進液氣動閥、301-氣態閥門、302-氣態過濾器、401-進料口、402-出料口、403-加熱裝置。

具體實施方式