[實(shí)用新型]一種藍(lán)寶石大尺寸晶片三角支架測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720269286.2
• 申請(qǐng)日: 2017-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206683603U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚健;蔡金榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B21/00
• 分類(lèi)號(hào): G01B21/00;G01B21/08
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31258
• 代理人: 陳麗君

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量用三腳支架，特別是一種藍(lán)寶石大尺寸晶片三角支架測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

目前，藍(lán)寶石襯底行業(yè)主流仍然是2寸晶片的生產(chǎn)，在生產(chǎn)過(guò)程中，使用的都是針對(duì)2寸晶片而設(shè)計(jì)的條形支架測(cè)量裝置。

針對(duì)藍(lán)寶石大尺寸晶片的測(cè)量，一般仍采用2寸晶片條形支架進(jìn)行測(cè)量，由于大尺寸晶片面積較大，在使用傳統(tǒng)支架測(cè)量，存在兩點(diǎn)風(fēng)險(xiǎn)：1、無(wú)法使測(cè)量支架的3個(gè)固定腳在陶瓷盤(pán)上校零，造成測(cè)量值有誤差；2、因傳統(tǒng)支架有一固定腳在晶片表面上，易造成晶片劃傷或崩邊。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種藍(lán)寶石大尺寸晶片三角支架測(cè)量裝置。

為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是:

一種藍(lán)寶石大尺寸晶片三角支架測(cè)量裝置，包括三角測(cè)量支架，其特征在于，所述三角測(cè)量支架呈圓角三角形，其所呈的圓角三角形為圓角等腰三角形，中軸線為L(zhǎng)-L，三角測(cè)量支架包括2個(gè)外側(cè)邊、1個(gè)外底邊、1個(gè)頂角外弧邊和2個(gè)底角外弧邊，三角測(cè)量支架的中部設(shè)有鏤孔，所述鏤孔呈圓角等邊三角形，包括2個(gè)內(nèi)側(cè)邊、1個(gè)內(nèi)底邊、1個(gè)頂角內(nèi)弧邊和2個(gè)底角內(nèi)弧邊；

所述外側(cè)邊與外底邊所呈的夾角為α1，所述α1為65°；所述內(nèi)側(cè)邊與內(nèi)底邊所呈的夾角為α2，所述α2為60°；所述頂角外弧邊呈圓弧形，其所呈的圓弧形所對(duì)應(yīng)的圓心角為β1，所述β1為155°；所述底角外弧邊呈圓弧形，其所呈的圓弧形所對(duì)應(yīng)的圓心角為β2，所述β2為115°；所述頂角內(nèi)弧邊呈圓弧形，其所呈的圓弧形所對(duì)應(yīng)的圓心角為β3，所述β3為120°；所述底角內(nèi)弧邊呈圓弧形，其所呈的圓弧形所對(duì)應(yīng)的圓心角為β3=120°；

所述頂角外弧邊和底角外弧邊所呈的圓弧形的半徑均為R1，所述R1為15mm，所述頂角內(nèi)弧邊和底角內(nèi)弧邊所呈的圓弧形的半徑均為R2，所述R2為5mm；

所述三角測(cè)量支架上還設(shè)有3個(gè)用于安裝支撐腳的連接孔，所述3個(gè)連接孔均為圓形孔，其半徑均為R3，所述R3為4mm，3個(gè)連接孔包括1個(gè)頂角連接孔和2個(gè)底角連接孔，所述頂角連接孔的圓心與頂角內(nèi)弧邊的垂直距離為H1，所述H1為35mm，所述底角連接孔與外底邊的垂直距離為H2，與中軸線L-L的垂直距離為H3，所述H2為25mm，H3為50mm；

所述三角測(cè)量支架上還設(shè)有測(cè)量孔，所述測(cè)量孔為圓形孔，其半徑均為R4，所述R4為4mm，測(cè)量孔的圓心與頂角連接孔的圓心的直線距離為H4，所述H4為117mm，測(cè)量孔的圓心與外底邊的垂直距離為H5，所述H5為6mm；

進(jìn)一步的，所述2個(gè)底角連接孔關(guān)于中軸線L-L呈軸對(duì)稱設(shè)置；

進(jìn)一步的，所述頂角連接孔的圓心位于中軸線L-L上；

進(jìn)一步的，所述外底邊的長(zhǎng)度為L(zhǎng)1，所述0.5*L1=53mm；

進(jìn)一步的，所述內(nèi)底邊的長(zhǎng)度為L(zhǎng)2，所述0.5*L2=36mm。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型提出的一種藍(lán)寶石大尺寸晶片三角支架測(cè)量裝置，采用三角設(shè)計(jì)，為三角測(cè)量支架，三角測(cè)量支架呈軸對(duì)稱的圓角等腰三角形，上設(shè)三點(diǎn)支撐用的連接孔和測(cè)量孔，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，采用不銹鋼材質(zhì)制成，穩(wěn)定性好，不易變形，三點(diǎn)支撐用于確定測(cè)量平面，為量表校正提供支撐，測(cè)量孔預(yù)留，用于測(cè)量晶片厚度，同時(shí)，由于三角測(cè)量支架是基于陶瓷盤(pán)表面校零，3個(gè)支撐腳只與陶瓷盤(pán)表面接觸，不會(huì)碰到晶片表面及邊緣，故不會(huì)造成晶片的劃傷或崩邊。

附圖說(shuō)明

圖1本實(shí)用新型示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖所示的一種藍(lán)寶石大尺寸晶片三角支架測(cè)量裝置，包括采用不銹鋼材質(zhì)制成的三角測(cè)量支架1，其特征在于，所述三角測(cè)量支架1呈圓角三角形，其所呈的圓角三角形為圓角等腰三角形，中軸線為L(zhǎng)-L，三角測(cè)量支架1包括2個(gè)外側(cè)邊2、1個(gè)外底邊3、1個(gè)頂角外弧邊4和2個(gè)底角外弧邊5，三角測(cè)量支架1的中部設(shè)有鏤孔6，所述鏤孔6呈圓角等邊三角形，包括2個(gè)內(nèi)側(cè)邊7、1個(gè)內(nèi)底邊8、1個(gè)頂角內(nèi)弧邊9和2個(gè)底角內(nèi)弧邊10；