[實用新型]具有背面圓弧形棱邊的MEMS芯片

有效

• 申請號: 201720264606.5
• 申請日: 2017-03-18
• 公開（公告）號: CN207061863U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 華亞平
• 申請（專利權）人: 安徽北方芯動聯科微系統技術有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81C1/00
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司34102
• 代理人: 王琪,王玲霞

1.具有背面圓弧形棱邊的MEMS芯片，由蓋板、MEMS結構層和底板組成，蓋板下表面至少有一個上凹腔，底板上表面至少有一個下凹腔，上凹腔和下凹腔共同形成密封腔；MEMS結構層由MEMS結構和MEMS密封區組成，MEMS結構位于密封腔中，并可在密封腔中自由活動；蓋板和底板分別鍵合在MEMS結構層上下兩側，蓋板表面還具有焊盤，其特征在于：底板側面由垂直于底板下表面的垂直部分和圓弧形棱邊組成，所述的圓弧形棱邊由下圓角、側壁、上圓角和頂部構成，所述的圓弧形棱邊表面呈波浪形，且布滿凹坑。

2.根據權利要求1所述的具有背面圓弧形棱邊的MEMS芯片，其特征在于：底板下表面還具有至少兩個凹槽，凹槽將底板下表面分割成若干個裝片柱，所述的裝片柱由背面、裝片柱下圓角、裝片柱側壁、裝片柱上圓角和裝片柱頂部構成，所述的裝片柱下圓角、裝片柱側壁、裝片柱上圓角和裝片柱頂部的表面都呈波浪形，且布滿凹坑。

3.根據權利要求1或2所述的具有背面圓弧形棱邊的MEMS芯片，其特征在于：圓弧形棱邊的深度為10～400μm。