[實(shí)用新型]一種多晶鑄錠坩堝噴涂用旋轉(zhuǎn)活動(dòng)式烘箱

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720259804.2
• 申請(qǐng)日: 2017-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206778864U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈飛;於俊杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B05D3/02
• 分類(lèi)號(hào): B05D3/02
• 代理公司: 南京瑞弘專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)32249
• 代理人: 楊曉玲

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種多晶鑄錠坩堝噴涂用旋轉(zhuǎn)活動(dòng)式烘箱，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

多晶硅鑄錠工序中需要將硅料全部熔化，熔化的硅料若是直接與坩堝接觸會(huì)發(fā)生反應(yīng)，出現(xiàn)粘鍋現(xiàn)象，嚴(yán)重影響硅錠的質(zhì)量。為了避免熔化的硅料與坩堝發(fā)生反應(yīng)，需要在坩堝內(nèi)壁噴涂氮化硅，因?yàn)榈鑼儆谝环N性質(zhì)穩(wěn)定的化學(xué)物質(zhì)，既不會(huì)和坩堝反應(yīng)，也不會(huì)和液態(tài)硅反應(yīng)，能夠在熔化的硅溶液和坩堝之間起到很好的隔離作用。當(dāng)?shù)柰繉訃娡窟_(dá)到規(guī)定要求后，需將噴涂好的坩堝放入烘箱內(nèi)進(jìn)行烘烤，然后再冷卻，達(dá)到涂層要求后，即可以裝料使用。

現(xiàn)有技術(shù)在執(zhí)行氮化硅的噴涂作業(yè)前都是通過(guò)人工將坩堝搬運(yùn)到加熱裝置上，再通過(guò)螺絲或鎖扣等方式進(jìn)行手動(dòng)固定，使加熱板與坩堝的各個(gè)加熱面相貼合，當(dāng)噴涂完成后，再通過(guò)人工將螺絲等松開(kāi)把坩堝從加熱器上卸下來(lái)。這個(gè)過(guò)程中，加熱板和坩堝的加熱面的相對(duì)位置和緊貼程度都是由操作人員手動(dòng)調(diào)整，如果加熱板和坩堝加熱面的相對(duì)位置沒(méi)調(diào)整好或是緊貼效果不好，將會(huì)大大降低加熱板的熱傳遞效果，加熱緩慢的同時(shí)坩堝各個(gè)噴涂面上的溫度誤差變大，導(dǎo)致噴涂面上水分蒸發(fā)的速度不均勻，使得裝料投爐后真空泵的抽真空時(shí)間變長(zhǎng)，增加多晶鑄錠時(shí)間，大大影響多晶鑄錠產(chǎn)能，造成資源的浪費(fèi)。同時(shí)，通過(guò)人工手動(dòng)進(jìn)行操作，工作反復(fù)冗雜，極大地降低了工作效率，易發(fā)生磕碰，坩堝受損，易導(dǎo)致漏硅。

因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員致力于開(kāi)發(fā)一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、穩(wěn)定高效的多晶鑄錠坩堝噴涂用旋轉(zhuǎn)活動(dòng)式烘箱，能夠?qū)崿F(xiàn)加熱板的自動(dòng)伸縮調(diào)整，從而達(dá)到均勻高效的烘干效果，同時(shí)便于上下搬運(yùn)坩堝，有效提高坩堝噴涂效率。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種多晶鑄錠坩堝噴涂用旋轉(zhuǎn)活動(dòng)式烘箱，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、加熱均勻高效等特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)加熱板的自動(dòng)伸縮調(diào)整，同時(shí)便于上下搬運(yùn)坩堝，有效提高坩堝噴涂效率。

技術(shù)方案：為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

一種多晶鑄錠坩堝噴涂用旋轉(zhuǎn)活動(dòng)式烘箱，包括固定框架、支撐座、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)及底座；

其中，所述底座上依次設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、支撐座及固定框架，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸與旋轉(zhuǎn)臺(tái)相連，且固定框架通過(guò)支撐座與旋轉(zhuǎn)臺(tái)一體轉(zhuǎn)動(dòng)；

所述固定框架前側(cè)為開(kāi)口，且固定框架內(nèi)上下左右及后側(cè)均設(shè)置有加熱板，所述加熱板內(nèi)布置有若干排列均勻的加熱管；其中，左側(cè)及后側(cè)加熱板與固定框架固接，且上側(cè)及右側(cè)加熱板與固定框架活動(dòng)連接；固定框架上側(cè)及右側(cè)設(shè)置有伸縮氣缸，所述伸縮氣缸通過(guò)連接件與固定框架相連，通過(guò)伸縮氣缸的活塞桿帶動(dòng)上側(cè)及右側(cè)加熱板的伸縮活動(dòng)；

下側(cè)加熱板包括左右兩個(gè)升降加熱板及中部的固定加熱板，且三者可拼接為一體；其中，固定加熱板與固定框架固接，且左右兩個(gè)升降加熱板與固定框架活動(dòng)連接；固定框架底部左右兩側(cè)設(shè)置有升降氣缸，通過(guò)升降氣缸的活塞桿帶動(dòng)兩個(gè)升降加熱板的升降活動(dòng)。

通過(guò)上述氣缸活動(dòng)式加熱板實(shí)現(xiàn)與坩堝的自動(dòng)調(diào)整貼合，操作方便的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了均勻高效的烘干效果，減少坩堝噴涂過(guò)程中水分，減少多晶鑄錠過(guò)程中有水分抽真空時(shí)間，有效提高坩堝噴涂效率。烘箱的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)以及下側(cè)加熱板的升降，方便上下搬運(yùn)坩堝，配合坩堝搬運(yùn)車(chē)可實(shí)現(xiàn)坩堝機(jī)械式搬運(yùn)，減輕人工搬運(yùn)坩堝磕碰等，降低坩堝受損而導(dǎo)致的漏硅風(fēng)險(xiǎn)。

優(yōu)選的，所述連接件包括安裝板及連接安裝板與固定框架的連接塊，且伸縮氣缸與安裝板固接；上側(cè)及右側(cè)加熱板上伸縮氣缸兩側(cè)設(shè)置有導(dǎo)桿，且安裝板通過(guò)直線(xiàn)軸承與導(dǎo)桿套接。通過(guò)導(dǎo)桿與直線(xiàn)軸承的配合實(shí)現(xiàn)對(duì)氣缸活動(dòng)式加熱板的導(dǎo)向作用，使活動(dòng)加熱板的移動(dòng)更加平滑順暢。

優(yōu)選的，為了實(shí)現(xiàn)高效加熱，所述加熱板采用導(dǎo)熱性?xún)?yōu)的鋁板，且加熱板內(nèi)側(cè)(朝向坩堝的一側(cè))覆蓋有耐高溫高導(dǎo)熱膠體，加熱板外側(cè)(背向坩堝的一側(cè))設(shè)置有保溫石棉層，防止熱量外溢。

優(yōu)選的，所述加熱板上布置有熱電偶，且固定框架上設(shè)置有溫控儀，溫控儀通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)與熱電偶及加熱管相連。通過(guò)熱電偶測(cè)量烘箱內(nèi)的熱場(chǎng)溫度，同時(shí)通過(guò)溫控儀來(lái)調(diào)節(jié)加熱板的加熱溫度和加熱時(shí)間，可根據(jù)工藝要求實(shí)現(xiàn)每個(gè)受熱面不同溫度柔性話(huà)調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)烘干坩堝水分，提高涂層有層次附著效果。

優(yōu)選的，所述加熱板為可拆卸結(jié)構(gòu)，便于更換其內(nèi)部的加熱管，節(jié)約成本。

優(yōu)選的，所述下側(cè)加熱板上設(shè)置有表面平滑的防護(hù)鋼板，避免坩堝移動(dòng)時(shí)的摩擦損傷，同時(shí)對(duì)下側(cè)加熱板也起到防護(hù)作用。