[實用新型]氣體勻流組件及片材表面處理裝置

有效

• 申請號: 201720257218.4
• 申請日: 2017-03-16
• 公開（公告）號: CN206628499U
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 董國樑;邢建龍;張治國;趙科雄;趙許飛;平洛;徐震;何雙奇
• 申請（專利權）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 西安弘理專利事務所61214
• 代理人: 鐘歡

技術領域

本實用新型屬于光伏太陽能電池硅片制造技術領域，具體涉及一種氣體勻流組件，還涉及一種包括上述氣體勻流組件的片材表面處理裝置。

背景技術

隨著世界經濟的不斷發展，現代化建設對高效能源需求不斷增長。而光伏發電作為綠色能源以及人類可持續發展的主要能源的一種，日益受到世界各國的重視并得到大力發展。單晶硅片、多晶硅片作為光伏發電的太陽能電池片的基礎材料，擁有廣泛的市場需求。

在太陽能電池的加工過程中，為了提高太陽能電池的轉換效率，需要對表面制絨后的硅片進行有效的鈍化，通過氧化法在硅片表面形成二氧化硅薄膜，目前常用的工藝是采用臭氧氣體進行硅片鈍化。圖1展示了一種現有技術中的硅片臭氧鈍化裝置。硅片花籃插裝硅片后，橫向放置在硅片臭氧鈍化裝置的箱體1內；而供氣裝置采用單管連接的方式連接箱體1，氮氣、臭氧通過箱體頂部的進氣管2進入箱體，反應完成后，通過箱體底部的出氣管3，在真空泵5的工作下抽出箱體。

上述硅片臭氧鈍化裝置在氣體進出箱體的過程中會存在以下技術問題：

首先，氣體進出箱體點單一，流速較快，容易造成硅片品質隱患：如圖1所示，箱體頂部和底部只設計一個進氣、出氣通路時，氣體會迅速的在進氣通路和出氣通路之間流進流出，形成較快的流速，從而對此區間放置的硅片形成一定的氣流沖擊力度，而硅片由于單薄、質輕、易碎的產品特性，抗氣流沖擊力弱，這種氣體進出方式容易造成硅片晃動，帶來隱裂等品質隱患。

其次，氣體在箱體內擴散不均勻，影響清潔效果及產品氧化效率：氮氣通過箱體頂部的進氣通路進入箱體，并通過底部的出氣通路，在真空泵的工作下流出箱體，從而完成箱體內部的清潔工作。但這種入氣出氣方式會使得氮氣進入箱體后很快地流出箱體，氣體不易擴散且流動速度快，不易將箱體內部各個角落的廢氣雜質排出箱體，清潔效率低。

再者，臭氧通入箱體后，需耗費較長時間擴散均勻，且箱體內各部分臭氧濃度不一致，需經過較長時間達到濃度均衡的效果，從而造成靠近進氣通路的硅片臭氧濃度高且氧化時間較長，遠離出氣通路的硅片臭氧濃度低且氧化時間較短。

而且，臭氧排氣效率較低，需花費較長時間，且靠近出氣通路的臭氧容易排出，遠離出氣通路的臭氧不易排出。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種氣體勻流組件，解決現有的硅片臭氧鈍化裝置由于氣體流速快、擴散不均勻導致硅片容易隱裂、氧化效率以及箱體清潔效率低的問題。

本實用新型的目的還在于提供一種包括上述氣體勻流組件的片材表面處理裝置，其可以在硅片表面制備高質量的氧化硅鈍化膜，進而提高太陽能電池片的轉換效率。

本實用新型所采用的一種技術方案是：氣體勻流組件，包括氣體控制閥門和連接氣體控制閥門的氣管，還包括相互連通的第一勻流件和第二勻流件，第一勻流件通過氣體控制閥門連通氣管，第一勻流件具有多個分氣通路，第二勻流件上開設多個氣孔，多個氣孔與多個分氣通路相通。

本實用新型的特點還在于，

第一勻流件的側壁向外凸出形成多個分氣通路，第一勻流件的內部中空形成與多個分氣通路相通的分氣腔，多個分氣通路與氣管相對設置，多個分氣通路依次經分氣腔、氣體控制閥門后連通氣管。

第二勻流件連通多個分氣通路的表面向內凹陷形成中空的分流腔，分流腔連通于多個分氣通路和多個氣孔之間，且多個氣孔和多個分氣通路相對設置。

多個氣孔均勻排布在與分流腔相對的第二勻流件上。

多個分氣通路均勻分布在第一勻流件的側壁上。

片材表面處理裝置，其利用氣流對片材進行表面處理，片材表面處理裝置包括箱體，還包括至少一個如上所述的氣體勻流組件，氣體勻流組件設置于箱體內。

本實用新型的特點還在于，

氣體勻流組件安裝于箱體內的側壁上，氣體勻流組件的氣管穿過箱體的側壁連接供氣或抽氣裝置，箱體內部空間形成片材表面處理區域。

箱體內對稱設置兩個氣體勻流組件：一個氣體勻流組件安裝于箱體內部上壁，其連接的氣管為進氣管，進氣管連接供氣裝置；另一個氣體勻流組件安裝于箱體內部底部，其連接的氣管為出氣管，出氣管連接抽氣裝置。

兩個氣體勻流組件之間的箱體內部空間形成片材表面鈍化處理的區域，安裝于箱體內部底部的氣體勻流組件的第二勻流件上安裝用于放置花籃的定位承載機構。

還包括架體，箱體放置于架體上，架體底部安裝有移動輪。