[實用新型]光譜儀純化設備

有效

• 申請號: 201720253859.2
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN206692322U
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 張曙光;董云會;王苗德;孫兆峰
• 申請（專利權）人: 淄博安澤特種氣體有限公司
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00;G01J1/42;G01J3/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種光譜儀純化設備，用于快速生產超純氬氣供光譜儀等使用。

背景技術

隨著我國經濟的發展，高純氣在工業生產中的使用越來越普遍，高純氣用的純化裝置的需求也大大提高。

光譜儀，又稱分光儀，廣泛為認知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。其構造由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。

光譜儀在使用過程中會用到高純度的氬氣，光譜儀使用的氬氣純度要求≥99.996％,其純度不夠的氬氣將導致以下后果：1.校正系數超出要求范圍，標準化系數偏高。2.激發光源不激發及跳閘。3.激發時擴散放電，激發點呈白色(白點)，強度降低，樣品表面無侵蝕，分析數據不準確。4.分析數據不穩定，特別是分析波長較低的元素如：C、P、S等，還有一些高合金鑄件、鑄鋁、鑄鐵、純金屬等。

目前缺少一種小型的超純氬氣凈化裝置，配套光譜儀進行使用。

實用新型內容

根據以上現有技術中的不足，本實用新型要解決的技術問題是：提供一種解決了上述缺陷的，體積小，結構簡單，可以快速提供超純氬氣的光譜儀純化設備。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：光譜儀純化設備包括液氬儲罐，液氬儲罐的出液口經低溫泵連接至汽化器，汽化器與脫氧純化器相連接，脫氧純化器的出氣口連接至高溫反應器，高溫反應器的出口端經過冷卻器后與過濾器相連接，過濾器的出氣口連接至氬氣鋼瓶，高溫反應器內放置有吸附劑。

所述的過濾器為陶瓷納米過濾器。過濾效果更為優秀。

使用原理為：

使用時，首先將液氬儲罐內的液態氬使用低溫泵打入汽化器，將液氬轉化為氬氣，再將氬氣通入脫氧純化器，將氧氣含量降低到0.5ppm以內，隨后將氬氣通入加溫到600℃的高溫反應器中，將氬氣里的氧、氮、氫、一氧化碳、二氧化碳、碳氫化合物等進行吸附反應，將雜質含量大大降低到0.01ppm以內，然后經過冷卻器將氬氣降溫至35℃以內，再經過過濾器進一步過濾，過濾后的超純氬氣存入鋼瓶內，供光譜儀等設備使用。

本實用新型所具有的有益效果是：本實用新型結構簡單，占用體積少，在將液態氬轉化為氬氣后，經過脫氧純化器、高溫反應器和過濾器的多重處理，可以快速的生成超純氬氣，并存入鋼瓶內，供光譜儀等設備使用。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、液氬儲罐；2、低溫泵；3、汽化器；4、脫氧純化器；5、高溫反應器；6、冷卻器；7、過濾器；8、氬氣鋼瓶。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的實施例做進一步描述：

如圖1所示，光譜儀純化設備包括液氬儲罐1，液氬儲罐1的出液口經低溫泵2連接至汽化器3，汽化器3與脫氧純化器4相連接，脫氧純化器4的出氣口連接至高溫反應器5，高溫反應器5的出口端經過冷卻器6后與過濾器7相連接，過濾器7的出氣口連接至氬氣鋼瓶8，高溫反應器5內放置有吸附劑。

所述的過濾器7為陶瓷納米過濾器。

使用原理為：

使用時，首先將液氬儲罐1內的液態氬使用低溫泵2打入汽化器3，將液氬轉化為氬氣，再將氬氣通入脫氧純化器4，將氧氣含量降低到0.5ppm以內，隨后將氬氣通入加溫到600℃的高溫反應器5中，將氬氣里的氧、氮、氫、一氧化碳、二氧化碳、碳氫化合物等進行吸附反應，將雜質含量大大降低到0.01ppm以內，然后經過冷卻器6將氬氣降溫至35℃以內，再經過過濾器7進一步過濾，過濾后的超純氬氣存入鋼瓶8內，供光譜儀等設備使用。