[實用新型]一種LED混合波長的平行光曝光系統

有效

• 申請號: 201720253644.0
• 申請日: 2017-03-16
• 公開（公告）號: CN206557529U
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 張博
• 申請（專利權）人: 河南百合特種光學研究院有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 新鄉市平原專利有限責任公司41107
• 代理人: 毋致善

1.一種LED混合波長的平行光曝光系統，包括光源和勻光器、反射鏡、透鏡、其特征在于：所述光源為LED芯片，LED芯片組中各個LED芯片的紫外光的波長不同且分別與錐形光棒組中的各錐形光棒的小直徑端面相對，該錐形光棒組的大直徑端面與中空勻光器的進光端面相連，此勻光器的出光端面與斜置的第一反射鏡的反射面相對，該第一反射鏡的反射面與透鏡組一側的透鏡平端面相對，該透鏡組另一側的透鏡的平端面與斜置的第二反射鏡的反射面相對，該第二反射鏡的反射面與透鏡的平端面相對。

2.根據權利要求1所述的一種LED混合波長的平行光曝光系統，其特征在于：所述錐形光棒為實心錐形光棒，所述勻光器為空心勻光器。